Re: [爆卦] 中國清大EUV大突破??!!
自媒體誇大了,但也不是完全沒有那麽回事。
分享下。
1、中國的光刻機研製,現在是duv、euv同時在弄。duv肯定是傳統路綫,應該差不多了。而
euv是不同的3、4種技術路綫在同時弄,每條路綫都有不同的科研院所負責。
中科院長春光研所負責asml的那種euv。
2、光學、精細化工之類的,其實中國自身并不差。主要以前沒有不計成本也要弄出來的動
機,弄出來了也沒人會用。但現在因爲美國制裁,中國的半導體產業的市場完全被美國主動
讓出來了,那造出來自然就有意義,能夠迭代。
現在看,光源、光刻膠之類的都已經有中國企業弄出來了,還在最後的總裝過程中。
3、至於這個清華的版本,是腦洞最大的一個,現在已經進行實際預研建設了。
簡單説就是放棄小型化、集約化,從而換取技術上難度的下降。
asml的光刻機,在一個集裝箱中,有光源、有各種光學鏡片、有各種防氣體污染的管路。之
所以這個技術路綫,一是因爲asml的技術路徑依賴,二是因爲光刻機是商品,必須滿足遠洋
運輸、後期調試的需求。
清華的版本,是儅基礎設施弄,光源不在内置,而是如發電廠集中供電、中央鍋爐集中供熱
水一樣,用同步輻射光源做發光厰集中供應光。
因爲同步輻射光源的特性,功率可以做到asml的euv的幾十倍,而且是廣譜光。通過電磁場
的不斷偏轉,不同波長的光會從不同的接口被篩選出來,也就是理論上從1nm到100nm的光源
同時供應。
根據功率、光源波長等,一個光源厰能同時供應幾十個光刻厰,效率和電能利用率會很高,
哪怕單個厰的良率沒那麽高,成本也能平攤下來。
另外因爲沒有空間限制,可以省掉各种复杂的光路和精度极高的镜片组,直接来上千W的8nm
波长。
EUV的三大难点:光源、物镜和工作台,直接跳过前俩,只要保证双工作台的精度就行。
以前其實就有這種路綫,但因爲占地大、成本高、同時用電大三個問題,并不是asml這種企
業的選擇項。
但對於中國,這些缺點并不是問題,只要能造出來就可以。
占地大,中國就是地多,也不需要儅商品運輸,而且輻射光源有其他用處,可以一魚多吃。
成本高,對於現在一臺幾臺幾億美金來説,其實也不高了,而且可以同時大量起光刻厰,
中國佔半導體產業50%的需求量,只要能造出來就有市場。
用電大,中國自己發電就占全世界的30%,而且内蒙、貴州這些地方電多到用不出去。綜合
去算幾十個光刻厰同時運作,其實能耗和asml的光刻機差不多了。
只不過,現在是理論上很完美,也是中國諸多技術中的一種。但實際工程化卻不一定能很快
弄出來。現在最快的的還是傳統路綫。
但asml總裁之前説中國有很多聰明人,能想出不一樣的路綫,也是意有所指。
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※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc), 來自: 111.162.145.209 (中國)
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是的。
比如,很多非綫性光學晶體啊,光學衛星之類的,中國的技術應該是只差過美國。而整體光
學,也只差過美日德。差距沒有那麽大。
而之前韓國被日本斷供光刻膠和各種精細化工產品,替代品就是中國的光刻膠和其他經濟化
工產品。
中國的光刻膠,可能純度還沒有日本高,但也是能用。7nm、5nm應該沒問題。但再往上可能
就會受純度影響了。
只要開始工程化、產業化使用,迭代升級的速度遠比鄉民想得要快。
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