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作者 kuanun 在 PTT [ NEMS ] 看板的留言(推文), 共8則

限定看板：NEMS

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[問題] 詢問沉積5微米厚的二氧化矽注意事項

[ NEMS ]14 留言, 推噓總分: +10

作者: achieveman - 發表於 2011/07/13 13:35(13年前)

11^F推kuanun:Bonding?07/17 11:42

[問題] 光阻去不完全

[ NEMS ]18 留言, 推噓總分: +8

作者: melvyn - 發表於 2011/05/05 16:40(13年前)

9^F推kuanun:降低硬烤溫度跟軟烤溫度一樣試試看05/05 22:03

[問題] Oxygen RIE 蝕刻光阻

[ NEMS ]12 留言, 推噓總分: +4

作者: areckin - 發表於 2011/04/09 16:32(13年前)

5^F推kuanun:應該只是想有uv o3 那種效果把殘餘光阻清一清?04/10 02:02

[問題] 電流控制

[ NEMS ]13 留言, 推噓總分: +7

作者: berettafil - 發表於 2010/05/29 01:31(14年前)

11^F推kuanun:樓上沒看清楚內文 XD05/31 16:48

[問題] 請問除了台大北微跟新竹工研院還有哪有ICP-RIE?

[ NEMS ]7 留言, 推噓總分: +4

作者: newbrain - 發表於 2010/03/26 10:13(14年前)

2^F推kuanun:材料呢? 假如是 SiNx, GaAs or InP 交大奈米科技中心有03/26 10:47

5^F→kuanun:交大奈米中心有原PO有的，樓上的可能偷進比較有可能 XD03/26 23:29

[問題] 如何蝕刻300微米的Si

[ NEMS ]7 留言, 推噓總分: +5

作者: nitsao - 發表於 2009/12/17 09:25(14年前)

5^F推kuanun:我的 ICP 機台只能吃 III-V，不能吃 Si，樓下有請12/17 18:52

[問題] 鍍 silicon oxide 的問題

[ NEMS ]15 留言, 推噓總分: +5

作者: s75287 - 發表於 2009/10/16 00:22(14年前)

7^F推kuanun:其實oxide 也可以用e-gun 鍍.....10/16 12:10

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