[問題] 請問除了台大北微跟新竹工研院還有哪有ICP-RIE?

看板NEMS作者 (matlab=中學數學)時間14年前 (2010/03/26 10:13), 編輯推噓4(4推 0噓 3→)
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如題 想知道哪邊還有ICP-RIE可以使用或代工 謝謝! -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc) ◆ From: 140.112.33.149
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NDL
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推
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材料呢? 假如是 SiNx, GaAs or InP 交大奈米科技中心有
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Si 基板 SiO2擋罩 謝謝
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推
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順便問一下，那有可以進金屬的RIE???感謝
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交大奈米中心有原PO有的，樓上的可能偷進比較有可能 XD
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推
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科儀中心
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推
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推儀科中心
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