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作者 jam46 在 PTT [ NEMS ] 看板的留言(推文), 共99則

限定看板：NEMS

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[問題] 4" SOI wafer購買已刪文

[ NEMS ]2 留言, 推噓總分: +1

作者: GE1000 - 發表於 2021/05/05 13:57(4年前)

1^F→jam46: 少量是多少量呢？05/13 02:01

[問題] PDMS與微流道問題請益(急)

[ NEMS ]4 留言, 推噓總分: +1

作者: bbs60076 - 發表於 2019/05/04 17:07(6年前)

1^F推jam46: 1. 塌陷問題看能否在流道中加柱子支撐？ 2. 用膠帶不會有殘05/07 03:09

2^F→jam46: 膠問題，我們用一般封箱透明膠帶都ok05/07 03:09

[問題] 有沒有不會被酒精吃掉的光阻

[ NEMS ]7 留言, 推噓總分: +2

作者: abcxyz6219 - 發表於 2018/01/26 11:00(8年前)

4^F→jam46: 不用移除的話，su8負光阻也滿強壯的，曝光顯影完，用丙酮沖02/02 00:43

5^F→jam46: 都沒事02/02 00:43

[問題] oxygen RIE 蝕刻

[ NEMS ]3 留言, 推噓總分: 0

作者: yys83422 - 發表於 2017/03/17 17:21(8年前)

1^F→jam46: 沒做過，但覺得原理相同+103/21 03:20

2^F→jam46: 感覺RIE跟氧電漿是不是只差在氣體不同而已啊？03/21 03:21

[問題] 將PDMS去除

[ NEMS ]8 留言, 推噓總分: +4

作者: keroro1130 - 發表於 2017/03/03 17:16(8年前)

2^F推jam46: PDMS wet etching? 雖然我覺得重做一片mold可能更安全 XD03/05 00:39

3^F→jam46: 另外，重點應放在為什麼會沾黏？理論上有上silane應該都很03/05 00:40

4^F→jam46: 好脫模，是否製程上出了什麼問題？03/05 00:41

[問題] 能以氧電漿使玻璃對接嗎

[ NEMS ]5 留言, 推噓總分: +2

作者: YamadaRyo - 發表於 2016/09/14 04:09(9年前)

1^F推jam46: 兩片玻璃對接可用陽極接合。氧電漿沒試過，猜測應該是無法09/18 02:28

[問題] PDMS 雙面接合玻片

[ NEMS ]8 留言, 推噓總分: +7

作者: YamadaRyo - 發表於 2016/07/03 00:30(9年前)

2^F推jam46: PDMS 旋塗在晶圓上，烤固化後 bond 玻璃，割下薄膜&上面的07/10 19:43

3^F→jam46: 玻璃後，再 bond 另一片玻璃？07/10 19:43

[問題] 抑制PDMS的氣體通透性

[ NEMS ]23 留言, 推噓總分: +13

作者: ytapjqmp - 發表於 2016/01/07 17:54(10年前)

7^F推jam46: 試試看PDMS倒入母模後，放真空烤箱抽，真空度會比一般幫浦01/09 01:10

8^F→jam46: 好，抽個一天後關掉真空幫浦，不破真空，再開烤箱加熱烤，01/09 01:10

9^F→jam46: 看有沒有效？01/09 01:10

Re: [問題]顯影完放在IPA裡有白色物質對後面製程影響

[ NEMS ]9 留言, 推噓總分: +4

作者: SkyLark2001 - 發表於 2015/12/29 08:56(10年前)

7^F推jam46: 可以參考 microchem 網站，有 su-8 的製程參數，這樣抓曝01/09 01:12

8^F→jam46: 光時間比較好抓01/09 01:12

[問題] 請問e-beam放置Ni的坩鍋選擇

[ NEMS ]5 留言, 推噓總分: +1

作者: j2222222229 - 發表於 2015/10/18 20:25(10年前)

1^F→jam46: 鉬坩鍋也可以打爆!? 確認一下電子束有打在靶材上嗎？還是10/19 23:14

2^F→jam46: 打偏了？10/19 23:14

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