[問題] 能以氧電漿使玻璃對接嗎

看板NEMS作者 (亞嘛搭六)時間7年前 (2016/09/14 04:09), 編輯推噓2(203)
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你好 我知道玻璃能與PDMS 或是PDMS與矽晶圓利用打氧電漿的方式做接合 但我想請問能夠將兩片玻璃作接合嗎? 我還想問究竟那些材料能在打氧電漿的狀態下被活化?因為看到的資料都只提到上述三種 我猜想是有矽基?還是其他因素? 那是只要表面離子能被活化的任意兩者都能互相接合嗎? 雖然玻璃能否對接就直接拿兩片玻片去試就可得到答案   但因為這幾天連假回家  不會碰到機器  又滿想知道剛剛的靈感可行性...... 請問有人有相關文獻能分享嗎? 謝謝! -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc), 來自: 123.194.200.150 ※ 文章網址: https://www.ptt.cc/bbs/NEMS/M.1473797360.A.71D.html

09/18 02:28, , 1F
兩片玻璃對接可用陽極接合。氧電漿沒試過,猜測應該是無法
09/18 02:28, 1F

10/19 19:08, , 2F
應該可以 ,SOI中有使用兩邊都是二氧化矽使用oxygen activa
10/19 19:08, 2F

10/19 19:08, , 3F
tion 來做direct bonding 但是你兩邊都是玻璃 ,那要成功
10/19 19:08, 3F

10/19 19:08, , 4F
兩邊玻璃的平整度要求會很高
10/19 19:08, 4F

08/03 00:32, , 5F
可唷!
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