[問題] 有沒有不會被酒精吃掉的光阻

看板NEMS作者 (Seako)時間6年前 (2018/01/26 11:00), 編輯推噓2(2推 0噓 5→)
留言7則, 4人參與, 6年前最新討論串1/1
小弟的實驗中要使用到自主性單分子層的製程 因此需要把曝光之後泡浸在酒精的溶劑中 但是光阻一直被酒精吃掉 目前已經使用過AZ4620 跟 S1813這裡兩隻光阻 想請問各位有沒有做過類似的實驗 是否有比較合適的光阻可以推薦? -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc), 來自: 140.115.41.152 ※ 文章網址: https://www.ptt.cc/bbs/NEMS/M.1516935623.A.1D2.html
推
02/01 13:02, 6年前 , 1F
光阻最終有要移除嗎 沒有的化烤250度 連硫酸都洗不
02/01 13:02, 1F
推
02/01 13:02, 6年前 , 2F
掉
02/01 13:02, 2F
→
02/01 22:45, 6年前 , 3F
PMGI或LOR可以試試看?
02/01 22:45, 3F
→
02/02 00:43, 6年前 , 4F
不用移除的話，su8負光阻也滿強壯的，曝光顯影完，用丙酮沖
02/02 00:43, 4F
→
02/02 00:43, 6年前 , 5F
都沒事
02/02 00:43, 5F
→
02/03 16:36, 6年前 , 6F
最後沒有留下來 但是250太高 改成150
02/03 16:36, 6F
→
02/03 16:36, 6年前 , 7F
測試是不會被吃掉的 謝謝大大
02/03 16:36, 7F
‣ 更多 abcxyz6219 的文章
文章代碼(AID): #1QQfd77I (NEMS)