[問題] PDMS 雙面接合玻片

看板NEMS作者 (亞嘛搭六)時間7年前 (2016/07/03 00:30), 編輯推噓7(7推 0噓 1→)
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我想請問構造是要兩面BONDING載玻片 中間那層是PDMS薄膜 請問薄膜的構造是用什麼方法成型呢？ 翻模的話　上方那面邊緣應該會成弧狀而厚度不均吧？　這樣應該接合不成... 而且脫模後應該無法精準定位？ 請問有人有這方面的經驗嗎QQ 拜託給我一些建議，謝謝！ -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc), 來自: 114.46.43.216 ※ 文章網址: https://www.ptt.cc/bbs/NEMS/M.1467477006.A.1E4.html
推
07/03 01:11, , 1F
就給你一點建議 DOI: 10.1039/C4LC01211A
07/03 01:11, 1F
推
07/10 19:43, , 2F
PDMS 旋塗在晶圓上，烤固化後 bond 玻璃，割下薄膜&上面的
07/10 19:43, 2F
→
07/10 19:43, , 3F
玻璃後，再 bond 另一片玻璃？
07/10 19:43, 3F
推
07/15 18:34, , 4F
樓上的方法問題在於1. 旋塗的PDMS 上面不會是通的 會有殘
07/15 18:34, 4F
推
07/15 18:35, , 5F
留PDMS 2. 旋塗後bond上玻璃 很難脫模下來 不管是厚、薄
07/15 18:35, 5F
推
07/15 18:36, , 6F
玻璃。薄的還有機會 但是容易破掉。
07/15 18:36, 6F
推
07/27 04:28, , 7F
電漿呢？
07/27 04:28, 7F
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04/16 15:24, , 8F
以前做單面是電漿拿到顯微鏡底下對
04/16 15:24, 8F
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