[問題] 將PDMS去除

看板NEMS作者 (小高)時間7年前 (2017/03/03 17:16), 編輯推噓4(4推 0噓 4→)
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是這樣的 小弟最近在以Si mold翻模PDMS，我有在Si上coating一層silane然後才上PDMS，但是在烤 乾後無法將PDMS去除，連用指甲摳幾乎都不為所動，請問有什麼辦法嗎？ -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc), 來自: 140.114.126.104 ※ 文章網址: https://www.ptt.cc/bbs/NEMS/M.1488532619.A.A36.html
推
03/04 17:02, , 1F
有用一些solvent試試看嗎？例如toluene
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推
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PDMS wet etching? 雖然我覺得重做一片mold可能更安全 XD
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另外，重點應放在為什麼會沾黏？理論上有上silane應該都很
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好脫模，是否製程上出了什麼問題？
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推
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PDMS上厚一點試試看?
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03/05 19:01, , 6F
找關東鑫林 有一支型號ksr的可以洗...但你加silane做什麼
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用呢？
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已寄站內信
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