作者 SkyLark2001 在 PTT [ NEMS ] 看板的留言(推文), 共333則

[問題] 膜厚量測

[ NEMS ]2 留言, 推噓總分: +1

作者: lsr82 - 發表於 2017/04/04 04:45(7年前)

1^F推SkyLark2001: 看你想多精準。一般的話 drop gauge很適用04/04 08:06

Re: 尋找臺灣MEMS代工廠

[ NEMS ]6 留言, 推噓總分: +3

作者: SkyLark2001 - 發表於 2016/11/07 02:02(7年前)

2^F→SkyLark2001: 什麼?!我會知道這家公司是因為我隔壁的公司做HMD的11/21 15:30

3^F→SkyLark2001: 是找這家touch micro做代工的所以常常會飛台灣11/21 15:31

4^F→SkyLark2001: 他們最近都還有飛台灣，所以我一直以為雙方還在合作11/21 15:32

[問題] 雙層光阻一次曝光的可能性

[ NEMS ]4 留言, 推噓總分: +2

作者: YuShaoChen - 發表於 2016/09/17 18:28(7年前)

1^F推SkyLark2001: 兩層難度太大，你可試一層su8, 曝光， peb 後不要顯09/19 23:07

2^F推SkyLark2001: 先拿去鍍銀後再顯影09/19 23:09

[問題] SiNx 是用ＣＶＤ還是熱蒸鍍？

[ NEMS ]7 留言, 推噓總分: +3

作者: cannibalking - 發表於 2016/07/30 19:04(8年前)

1^F推SkyLark2001: silicon nitride的鍍膜方式可以有CVD, PVD,spin on等08/02 13:23

2^F推SkyLark2001: CVD就包含LPCVD, PECVD及種種變形如ICP/ECR/ALD等08/02 13:30

3^F→SkyLark2001: PVD則包含sputter跟evaporatoin都有。另外也可用IBD08/02 13:31

4^F→SkyLark2001: ion beam deposition. 所以不是你誤會了什麼，而是08/02 13:32

5^F→SkyLark2001: 學海無涯08/02 13:32

Re: [問題]AZ4620與SU-8-5的製程問題

[ NEMS ]14 留言, 推噓總分: +2

作者: SkyLark2001 - 發表於 2016/03/19 14:40(8年前)

9^F→SkyLark2001: SU-8可以用來當犧牲層，請查詢"omnicoat"03/20 07:34

10^F→SkyLark2001: AZ烤焦一點會有沒辦法移除乾淨的後果03/20 07:35

11^F→SkyLark2001: 另外就是8microns已經算厚光阻了，bake不能只用hot03/20 07:36

12^F→SkyLark2001: plate, 烤不到表面。厚光阻要hotplate, oven併用03/20 07:37

[問題] 黃光微影製程大哉問

[ NEMS ]8 留言, 推噓總分: +5

作者: s1236325 - 發表於 2016/02/04 12:23(8年前)

1^F推SkyLark2001: 氣體感測器...那就真的隨便買啊，你們老師沒說錯02/04 14:34

2^F推SkyLark2001: 買AZ1512或其他15xx系列，搭配AZ顯影液02/04 14:37

3^F推SkyLark2001: shipley的s1813跟az的1512是同樣用途的東西02/04 16:57

4^F→SkyLark2001: 哪個學校的?去共同無塵室比如北微南微去接受traning02/04 16:58

5^F→SkyLark2001: 比較容易進入狀況02/04 16:58

Re: [問題]顯影完放在IPA裡有白色物質對後面製程影響

[ NEMS ]9 留言, 推噓總分: +4

作者: SkyLark2001 - 發表於 2015/12/29 08:56(8年前)

3^F→SkyLark2001: 何必一直測試?你直接做一組曝光120或甚至150秒的，一12/31 12:32

4^F→SkyLark2001: 顯影看結果就知道我的猜測正不正確了。花不到你1小時12/31 12:33

5^F→SkyLark2001: SU-8最方便的地方是少量過曝根本沒差,尤其你只是翻印12/31 12:34

[問題]顯影完放在IPA裡有白色物質對後面製程影響

[ NEMS ]1 留言, 推噓總分: 0

作者: jameskey - 發表於 2015/12/25 01:06(8年前)

1^F→SkyLark2001: 曝光量不足12/27 18:48

[問題] 請問是否有AZ4620專門的去光阻液

[ NEMS ]8 留言, 推噓總分: +3

作者: jack30127 - 發表於 2015/11/12 12:21(8年前)

2^F推SkyLark2001: Acetone不就行了嗎?11/12 15:58

[問題] 請問e-beam放置Ni的坩鍋選擇

[ NEMS ]5 留言, 推噓總分: +1

作者: j2222222229 - 發表於 2015/10/18 20:25(8年前)

3^F推SkyLark2001: 要用W crucible, 可以改善10/20 08:13

作者查詢 / SkyLark2001