[問題] 請問是否有AZ4620專門的去光阻液
由於目前我要做元件會同時使用到AZ4620與SU8
兩種光阻使用的流程大概如下
第一層AZ4620 -> 第二層AZ4620與SU8 -> 第三層AZ4620
然後最後在去除所有的AZ4620
留下SU8
原本在設計得時候以為有專門去除AZ4620的去光阻液
但怎麼搜尋都找不到
找到的去光阻液都是對正負光阻通用型的
想請問各位
AZ4620是否有專門的去光阻液
抑或各位能提供我有甚麼方法
能讓我去除AZ4620而不會去破壞的我的SU8
第一次在NEMS發文
希望大家能不吝於指教><
謝謝各位~
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