[問題] SiNx 是用ＣＶＤ還是熱蒸鍍？

看板NEMS作者 (一路向上)時間7年前 (2016/07/30 19:04), 7年前編輯推噓3(3推 0噓 4→)
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如題 小弟一直以為SiNx 是用CVD做的 直到上次聽到SiNx也可以用熱蒸鍍做 令我嚇了一跳 請問是我誤會了什麼嗎？ 謝謝 -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc), 來自: 118.7.224.141 ※ 文章網址: https://www.ptt.cc/bbs/NEMS/M.1469876641.A.F8D.html ※ 編輯: cannibalking (118.7.224.141), 07/30/2016 19:37:43
推
08/02 13:23, , 1F
silicon nitride的鍍膜方式可以有CVD, PVD,spin on等
08/02 13:23, 1F
推
08/02 13:30, , 2F
CVD就包含LPCVD, PECVD及種種變形如ICP/ECR/ALD等
08/02 13:30, 2F
→
08/02 13:31, , 3F
PVD則包含sputter跟evaporatoin都有。另外也可用IBD
08/02 13:31, 3F
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08/02 13:32, , 4F
ion beam deposition. 所以不是你誤會了什麼，而是
08/02 13:32, 4F
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08/02 13:32, , 5F
學海無涯
08/02 13:32, 5F
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08/13 01:21, , 6F
但是樓上你說的都不是熱蒸鍍吧.....
08/13 01:21, 6F
推
10/25 23:21, , 7F
回樓上234。 Evaporation不是熱蒸鍍嗎？
10/25 23:21, 7F
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