[問題] 黃光微影製程大哉問

看板NEMS作者s1236325 (逛逛逛逛就好)時間8年前 (2016/02/04 12:23)推噓5(5推 0噓 3→)

留言8則, 3人參與討論串1/1

版內首PO，請鞭小力點小妹目前碩一，做的題目有黃光微影製程，目前疑惑的點有以下： 1.正光阻（AZ系列）塗布會有基板選擇問題嗎？像是Si、ITO、Al2O3......等等。 2.顯影液是怎麼挑選？剛爬文，有些顯影液裡面的離子會對元件造成影響，怕選錯了會讓結果變差。小妹是準備做氣體感測器，之後的學弟妹我就不知道了。 3.軟烤跟硬烤，要怎麼從OM看出參數跟時間上是沒問題的？因為我看一些論文有寫到這兩個時間沒抓好，會有顯影困難跟光阻除去困難 4.蝕刻問題，擔心蝕刻完對於表面影像有嚴重影響，這時是透過OM還是AFM來看？問題有點噗嚨共，因為我是自己實驗室第一個做的人，所有製程參數都要我來抓，去借別人的實驗室做實驗，他們也沒做過氣體感測器，也無法給我參數上的意見。光阻劑跟顯影液問題則是第一位怎麼買，後面就跟著買（覺得責任重大｡-_-｡想請教各位先進，這些基本常識該去什麼樣的網站或找什麼樣的書來看呢？因為我打算建立一套可以提供未來實驗室學弟妹查詢的途徑，避免走許多冤枉路。 PS:我唸化材系，指導教授是電機系畢業，系上沒有人做過黃光微影實驗，所以也沒得問。問老師這些大哉問，老師是說隨便買，應該沒差太多（真的嗎？問題有點多，懇請不吝賜教，謝謝 m(- -)m -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc), 來自: 36.236.229.89 ※ 文章網址: https://www.ptt.cc/bbs/NEMS/M.1454559811.A.0F5.html

推

SkyLark2001

02/04 14:34, , 1^F

02/04 14:34, 1^F

真的喔，氣體感測器在光阻上面需求不大?因為我基板是Si，上面長Pt/Ti，怕蝕刻時會傷害到光阻

推

SkyLark2001

02/04 14:37, , 2^F

02/04 14:37, 2^F

謝謝，我Google查詢它們的資料另外，除了AZ系列，我也常看到S系列，這兩種有很大的差異嗎?謝謝 ※ 編輯: s1236325 (1.172.112.250), 02/04/2016 15:23:44

推

SkyLark2001