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作者 Colula 在 PTT [ NEMS ] 看板的留言(推文), 共25則

限定看板：NEMS

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[問題] 顯影後圖形變形

[ NEMS ]9 留言, 推噓總分: +6

作者: jaychou515 - 發表於 2015/05/24 22:55(10年前)

5^F推Colula: 如sky所說的，應是光酸反映太多造成氮溢出，加高烤溫與時05/25 01:23

7^F→Colula: 間應可改善05/25 01:24

[問題] 厚光阻曝光問題

[ NEMS ]18 留言, 推噓總分: +8

作者: zxcvoice - 發表於 2013/06/23 23:36(12年前)

10^F推Colula:建議作黃光實驗者都應該看一下這篇Troubleshooting06/29 07:32

11^F→Colula:microchemical裡面都有解答: http://ppt.cc/OuEJ06/29 07:33

12^F推Colula:你黃光微影的條件對於厚光阻並不太合適，照裡面的說法，06/29 07:43

13^F→Colula:10um厚光阻烤不夠乾，加上過強曝光，將使得氮鍵斷裂而氮氣06/29 07:45

14^F→Colula:氣溢出而形成氣泡狀，這點在曝光完後就應該可以看出來06/29 07:46

15^F→Colula:中間有contact gap的話不會有這樣大的落差06/29 07:48

[問題] Oxide dry etching profile

[ NEMS ]11 留言, 推噓總分: +3

作者: Ren211225 - 發表於 2013/05/15 01:11(12年前)

4^F推Colula:1.減少RF功率，減緩RIE中離子團氣體垂直撞擊程度05/23 00:22

5^F→Colula:2.如Nico大所說的降低O2流量，或提升SF6流量讓化學蝕刻性05/23 00:26

6^F→Colula:提升，側壁蝕刻速度會加快，但有可能造成側壁凹凹凸凸的05/23 00:27

7^F→Colula:He應該是冷卻電極用的，不要調整或是過大，有些RIE開太強05/23 00:29

8^F→Colula:的He會造成wafer的震動，影響surface condition05/23 00:30

[問題] 顯影液的選擇

[ NEMS ]16 留言, 推噓總分: +4

作者: Colula - 發表於 2013/05/02 00:47(12年前)

6^F→Colula:想請問一下s大,我們是作光電雷射半導體的,若將4620用水05/02 12:51

7^F→Colula:用水稀釋後,有可能的影響為何?尤其是作Grating光柵結構,Thx05/02 12:53

14^F→Colula:非常感謝S大的回覆,讓我學到很多,我之前還以為MP351與MF31905/02 20:42

15^F→Colula:同系,只是濃度不同，忽略了鉀離子及NaOH base, Thanks05/02 20:44

[問題] lift-off 問題

[ NEMS ]23 留言, 推噓總分: +6

作者: liliihana - 發表於 2013/01/11 13:08(13年前)

3^F推Colula:週期很寬，鍍金很薄，AZ4620就可01/12 11:18

Re: [問題] 負光阻問題

[ NEMS ]6 留言, 推噓總分: +2

作者: SkyLark2001 - 發表於 2012/11/12 17:39(13年前)

3^F→Colula:五萬= =,5um線寬找中央作便宜多了11/15 01:35

[問題] 負光阻問題

[ NEMS ]23 留言, 推噓總分: +11

作者: bb0303 - 發表於 2012/11/08 15:35(13年前)

22^F推Colula:AZ 5214也可以用TMAH系列的如MF-351 or 31911/15 01:33

[問題] 乾蝕刻矽與ITO的方法

[ NEMS ]5 留言, 推噓總分: +2

作者: sway5566 - 發表於 2012/07/21 12:49(13年前)

3^F推Colula:金屬遮罩不要進RIE,尤其是ICP,不然RFpower很容易mismatch07/28 01:57

4^F→Colula:很傷chamber..又有汙染的問題，調得不好甚至在裡面打雷閃電07/28 01:58

[問題] AZ4620 SPR220

[ NEMS ]3 留言, 推噓總分: +3

作者: seetheblack - 發表於 2012/06/24 02:23(13年前)

3^F推Colula:AZ 4620轉到剩下3.5 um, 烤90C 5min 超好lift off...07/28 01:47

[問題] S1813 小線寬的lift off

[ NEMS ]9 留言, 推噓總分: +2

作者: capsss - 發表於 2012/02/27 10:02(14年前)

9^F推Colula:加熱丙酮煮沸5min +UV Ozone 120C 20min, 一定乾淨03/22 00:25

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