[問題] 顯影後圖形變形

看板NEMS作者jaychou515 (Hoshiya)時間9年前 (2015/05/24 22:55)推噓6(6推 0噓 3→)

留言9則, 3人參與討論串1/1

最近剛接觸黃光微影，遇到了以下問題，想請各位前輩指導一下。第一次顯影圖形過顯，所以就把光阻洗掉重做。但之後就發生了圖形變形的情況： http://i.imgur.com/lnxdYUn.jpg

http://i.imgur.com/dZVncVe.jpg

檢查曝完光的光罩，多了殘留的透明物體： http://i.imgur.com/vwGFGKw.jpg

http://i.imgur.com/nkLzA9t.jpg

重做很多次都還是發生這種情形，不曉得有沒有前輩知道原因，謝謝。 P.S. 我是用HMDS+S1813 -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc), 來自: 1.163.92.114 ※ 文章網址: https://www.ptt.cc/bbs/NEMS/M.1432479308.A.3B1.html

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