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作者 Zoma 在 PTT [ NEMS ] 看板的留言(推文), 共18則

限定看板：NEMS

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[問題] DBR-TiO2/SiO2 etch???

[ NEMS ]8 留言, 推噓總分: +5

作者: jack29556446 - 發表於 2013/08/05 21:26(12年前)

6^F推Zoma:307b?08/06 23:32

[問題] 313nm 的曝光機

[ NEMS ]3 留言, 推噓總分: +2

作者: sai77715 - 發表於 2011/08/19 22:04(14年前)

1^F推Zoma:MJB4 可以開320nm或405nm~08/20 11:40

[問題] 詢問沉積5微米厚的二氧化矽注意事項

[ NEMS ]14 留言, 推噓總分: +10

作者: achieveman - 發表於 2011/07/13 13:35(14年前)

12^F推Zoma:PECVD較快07/17 12:48

[問題] PDMS上鍍銅

[ NEMS ]4 留言, 推噓總分: +3

作者: roguematt - 發表於 2011/07/12 19:39(14年前)

3^F推Zoma:數百nm就算很厚了...建議先濺鍍薄銅再用電鍍加厚~07/12 22:57

Re: [問題] 光阻去不完全

[ NEMS ]3 留言, 推噓總分: +2

作者: melvyn - 發表於 2011/05/06 16:09(14年前)

1^F推Zoma:噴砂無敵~~05/07 00:45

2^F→Zoma:抱歉推錯05/07 00:45

Re: [問題] 請問2um的黃光顯影和曝光

[ NEMS ]8 留言, 推噓總分: +1

作者: Zoma - 發表於 2011/04/21 14:28(15年前)

3^F→Zoma:參數因為是試出來的~就不方便說囉~~04/21 21:58

4^F→Zoma:http://www.ecic.com/product/elec/pro-ec-510-s.htm04/21 21:58

5^F→Zoma:我稍微看了一下~你的曝光量是180mj...似乎大原廠不少喔~04/21 21:59

6^F→Zoma:btw...有時候2um線寬加上undercut...比較差的顯微鏡04/21 22:00

7^F→Zoma:看起來好像合再一起~但其實可能沒有~我們的就是這樣~04/21 22:01

8^F→Zoma:真的鍍金屬又lift off後才發現是顯微鏡太差~04/21 22:01

Re: [問題] 線寬1um的玻璃光罩

[ NEMS ]15 留言, 推噓總分: +6

作者: spp100 - 發表於 2011/04/14 17:58(15年前)

10^F推Zoma:這成本這是太驚人了~而且四吋應該要好幾天吧~04/17 01:14

[問題] 線寬1um的玻璃光罩

[ NEMS ]5 留言, 推噓總分: +1

作者: Zoma - 發表於 2011/04/14 14:31(15年前)

1^F→Zoma:自問自答~台灣光罩CD 1um 4"收費三萬五...大概三四天會好~04/21 14:21

2^F→Zoma:太貴了~QQ~還是只能靠貴儀撐一下~04/21 14:21

[問題] Oxygen RIE 蝕刻光阻

[ NEMS ]12 留言, 推噓總分: +4

作者: areckin - 發表於 2011/04/09 16:32(15年前)

1^F推Zoma:深寬比是多少呢?04/09 20:59

3^F推Zoma:這樣的深寬比應該還好...不用像ICP作側壁保護~但也沒辦法就是04/10 01:07

4^F→Zoma:不能用曝光的方式顯掉不要的光阻嗎?用蝕刻的要用啥當遮罩呢?04/10 01:08

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