Re: [問題] 線寬1um的玻璃光罩

看板NEMS作者 (spp)時間13年前 (2011/04/14 17:58), 編輯推噓6(6推 0噓 9→)
留言15則, 5人參與, 最新討論串2/2 (看更多)
取 4" glass 一片 鍍 Ti/Cr layer 上光阻 E-beam 曝光顯影 Cr-7 蝕刻 Ti/Cr layer 去光阻 收 工 ^o^ ※ 引述《Zoma (喔喔喔~~~)》之銘言： : 請問有誰知道哪裡有再作線寬1um甚至是0.8um的光罩呢? : 學校單位包括交大~NDL~中央~中研院的規格都是2um的 : 不知道有沒有人委外作過線寬1um的光罩 : 我是想做在4吋玻璃上...但實際區域只會用到2cm*2cm : 不知道這樣收費會多少? 謝謝囉 -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc) ◆ From: 220.132.235.161
推
04/16 11:00, , 1F
問題是曝光的光罩打哪來XD
04/16 11:00, 1F
推
04/16 13:03, , 2F
電子束微影啊
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04/16 13:05, , 3F
樓上正解 E-beam 直寫 免mask ^^
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推
04/16 13:09, , 4F
我比較好奇電子束微影的能量夠強可顯厚1-2um的光阻嗎?
04/16 13:09, 4F
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04/16 13:10, , 5F
畢竟那些光阻還要拿來當Cr7的檔罩的
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04/16 13:51, , 6F
1um PMMA 可寫0.2umlinewidth, pitch0.8um
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04/16 13:51, , 7F
2009年發表於.. = = 哎呀我忘了在哪
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04/16 13:53, , 8F
用20 KeV能量 0.x pA 電流 老了詳細的忘了
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推
04/16 15:21, , 9F
感謝回答。
04/16 15:21, 9F
推
04/17 01:14, , 10F
這成本這是太驚人了~而且四吋應該要好幾天吧~
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推
04/17 15:02, , 11F
只寫在2cmx2cm不需要太久，但是這種submicron的尺寸
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04/17 15:03, , 12F
去做光罩就有困難了，蝕刻Cr/Ti不一定蝕刻很好，有了
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04/17 15:04, , 13F
光罩再去做submicron的黃光又是另一層難題...乾脆直接
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04/17 15:04, , 14F
每個SAMPLE都用電子束去寫吧
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01/16 13:45, , 15F
如果要這樣 何不直接用EBL就好了...
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文章代碼(AID): #1DfiKsNG (NEMS)
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