[新聞] 中國首台EUV曝光機原型機正式出光 斥資400億美元建構自主半導體鏈路
https://news.cnyes.com/news/id/6532960
中國首台EUV曝光機原型機正式出光 斥資400億美元建構自主半導體鏈路
據《路透》與相關調查指出,位於深圳一座由中央科技委員會管理的保密設施內,首台全國
產化的極紫外光曝光機 (EUV) 原型機已成功啟動,並穩定產生 13.5 奈米波長的極紫外光
。報導稱,此進展意味著中國已在 EUV 技術鏈路上,從光源、光學系統到真空腔體實現初
步貫通。
相較於全球龍頭艾司摩爾 (ASML) 採用的 LPP(雷射激發電漿) 技術——即利用高功率雷射
轟擊錫滴,中國研發團隊選擇了 LDP(雷射誘導放電電漿)10 倍以上,具備系統體積更小、
功耗更低等優勢,有利於未來的規模化部署。
陸媒矽基 LIFE 報導稱,這項被外界稱為「北京曼哈頓計畫」的發展,背後有著龐大的資源
支撐。
投資規模:由國家科技部牽頭,整合華為、哈工大、上海光機所、清華大學及中科院等機構
,總投入金額估算達 370 億歐元 (約 400 億美元)。
專利技術:截至 2026 年 6 月,中國在 EUV 領域的專利申請量已累計超過 1200 件。
生產佈署:華為東莞基地預計於 2026 年第三季啟動 EUV 試驗性生產。
據報導,目前全球 7 奈米以下先進製程晶片均需依賴 EUV 技術,而 ASML 單台 EUV 設備
售價約 1.5 億美元。根據數據顯示,2026 年全球 EUV 相關市場規模約為 259.3 億美元,
目前台積電掌握全球約 56% 的 EUV 裝機量。
儘管中國已跨越光源門檻,但後續仍面臨極其嚴苛的挑戰,包括反射率要求極高的鉬 / 矽
布拉格反射鏡、光阻劑靈敏度,以及光罩檢測等工程瓶頸。
然而,在 EUV 量產前,中國已透過浸潤式深紫外光曝光機 (DUV) 配合自對準四重圖形技術
(SAQP)5 奈米級晶片的規模化量產,為先進製程提供了備援路徑。
報導稱,若 LDP 技術路徑最終證明能提供更高的功耗效率,將可能對現有以 ASML 為首的
供應鏈範式產生衝擊,並改變先進製程設備的市場稀缺紅利。
心得:
來自路透報導
這算是重大突破嗎?
每年這樣燒錢,也是大手筆
是框錢,還是真的想做大事
其實還沒很定論
兩年後看能不能量產
或許就比較明確了?
--
※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc), 來自: 118.231.169.250 (臺灣)
※ 文章網址: https://www.ptt.cc/bbs/Tech_Job/M.1784029691.A.2A9.html
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