Re: [新聞] 供應商出包 損台積逾萬片晶圓
看新聞說是光阻有問題
一般而言,如果是光阻的問題,會有可能反應在1.CD 2.defect上。
正常來說,若是critical layers,些微的CD變化都會被逮到,因此我認為是critical la
yers 的機率並不高。
再來是non-critical layers
這些多半對CD不敏感,甚至幾個nm到10幾nm的偏差,都是屬於正常範圍。這種清況下,就
算CD飄一點,可能都還在control limit 內,不一定會low yield。
最有可能的是scum,也就說曝光顯影後,還有殘渣。如果是光阻厚度變薄,或是peeling
,defect scan/review就會逮到。因此,推測scum的機率大。
若是ETCH layers,scum可能會有defect scan看不的的bridge (被structure)擋住,掃不
到。
如果是IMP layer,打進去的離子濃就變低,電性上就可能是low yield。
如果真的是光阻出問題,我猜問題大概是這樣。
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※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc), 來自: 27.247.194.206
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※ 編輯: negohsu (27.247.194.206), 01/30/2019 11:18:20
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這個很難說
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我沒辦法講的再簡單了,只能這樣。
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確實可能是原物料品質差異造成的。
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通常都是推一隻羊出來抗。
等真相查明的時候,羊都快變驢了。
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IMP layer通常都是打完接strip,然後就下一家了。
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這個不能說不可能,要看看有沒有人夢到了。
※ 編輯: negohsu (27.247.194.206), 01/30/2019 13:35:12
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一切只是猜測,連是否是光阻出問題都不確定。
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除非是光阻受到金屬污染,不然可進光阻的機台,就不會有光阻污染。
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不是XD
這種事猜錯很正常
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※ 編輯: negohsu (27.247.194.206), 01/31/2019 07:34:15
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