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討論串[新聞] 供應商出包 損台積逾萬片晶圓
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[新聞] 供應商出包 損台積逾萬片晶圓
推噓32(33推 1噓 18→)留言52則，0人參與, 5年前最新作者semih (Sayginer)時間5年前 (2019/01/29 11:45), 編輯資訊
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http://news.ltn.com.tw/news/focus/paper/1264735 自由. 供應商出包 損台積逾萬片晶圓. 2019-01-29. 良率明顯下降. 將趕三月底前補出貨. 不影響首季財測. 〔記者洪友芳／新竹報導〕晶圓代工龍頭台積電位於南科的十二吋晶圓廠Fab十四Ｂ廠，傳出
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#2
Re: [新聞] 供應商出包 損台積逾萬片晶圓
推噓5(5推 0噓 6→)留言11則，0人參與, 5年前最新作者sendtony6 (TY)時間5年前 (2019/01/30 07:55), 編輯資訊
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小弟不專業的分析一下. 黃光也就兩種原物料，光阻跟顯影液. 如果是光阻過期，這個不太可能驗不出來，因為在COA上有一欄是驗CD的. 光阻過期或氧化會導致CD異常. 再怎麼樣in line也會看到CD ooc或 oos. 另一個可能是顯不乾淨，但這種顯影defect說KLA驗不出來 就很奇怪了. sp
(還有150個字)
#3
Re: [新聞] 供應商出包 損台積逾萬片晶圓
推噓13(13推 0噓 12→)留言25則，0人參與, 5年前最新作者negohsu (專打不專業環團)時間5年前 (2019/01/30 11:17), 5年前編輯資訊
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看新聞說是光阻有問題. 一般而言，如果是光阻的問題，會有可能反應在1.CD 2.defect上。. 正常來說，若是critical layers，些微的CD變化都會被逮到，因此我認為是critical layers 的機率並不高。. 再來是non-critical layers. 這些多半對CD不敏
(還有597個字)
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