Re: [新聞] 供應商出包損台積逾萬片晶圓

看板Tech_Job作者sendtony6 (TY)時間5年前 (2019/01/30 07:55)推噓5(5推 0噓 6→)

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: 她強調，會要求供應商賠償，否則將提告索賠，但不透露供應商公司名稱與化學品名；供 : 應鏈傳出確定是美商，另傳是供應光阻液或研磨液。 : 備註 : DOW ? 小弟不專業的分析一下黃光也就兩種原物料，光阻跟顯影液如果是光阻過期，這個不太可能驗不出來，因為在COA上有一欄是驗CD的光阻過期或氧化會導致CD異常再怎麼樣in line也會看到CD ooc或 oos 另一個可能是顯不乾淨，但這種顯影defect說KLA驗不出來就很奇怪了 sp機台都號稱可以驗到2奈米的pa 而且4大製程裡面就黃光的in line inspection tool最多如果是CMP slurry的過期，不負責的推測可能會有sio2粒徑不一致導致晶圓刮傷這個說KLA掃不到，也很奇怪原物料出包一般都是全面性的，不太可能跑個幾萬片才發現除非。。。事情不單純以上是不專業之不負責推論有沒有巷子內的要出來爆掛一下??? -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc), 來自: 101.12.164.149 ※ 文章網址: https://www.ptt.cc/bbs/Tech_Job/M.1548806127.A.DE0.html

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tabrisPTT

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yai5217

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EeePC901

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