Re: [問題] 利用PDMS翻模
想藉此發問一下
我用的也是喬月的184 PDMS
翻模的最小規格是 400nm深 400nm寬
但是翻印不太成功
我硬模表面有上抗沾
A:B 是 10:1 ---> 是不是也需要稀釋才可以飽模? (依照上面大哥的回答 似乎沒提到?)
並靜置了5小時以上
用80度考一小時半 雖然我覺得飽不飽跟考應該沒關係了
※ 引述《Jeffch (Jeff)》之銘言：
: ※ 引述《secret320 (誠..)》之銘言：
: : 想請問一下使用PDMS翻模(150nm寬100nm深光柵)翻印不成功
: : 使用喬越的PDMS及矽油
: : 製程是先在培養皿調配A劑:B劑:矽油=10:1:1(稀釋PDMS)
: : 並攪拌,將培養皿放入真空球中,利用機械pump抽至2*10-4torr
: : 持續5mins(確認無氣泡),破真空將PDMS後倒入母模
: : 再利用真空球抽真空約10mins(確認無氣泡)拿去hotplate上加熱
: : 80度1hr,翻印多次都沒成功,有試過在母模上利用UV-OZONE
: : 使之親水,發現無法拔模,不知道大家是怎麼翻印200nm以下的結構呢
: : 謝謝回答的人
: 如果可以做silanization讓表面成為hydrophobic將會很有幫助，hydrophobic可使：
: 1. 母模不沾黏，容易脫模。
: 2. 更重要的是可讓PDMS更容易浸潤整個結構。
: 我曾經做過直徑150nm深1.5um的母模，在silanization後甚至不需另加壓力或抽真空，
: 皆可順利成型與脫模(成柱狀)。
: 還有要注意使用fluorosilane based chemical時要注意：
: 1. 先使用O2 plasma做表面處理使Si表面形成covalent bonding
: 2. 保持chamber的乾燥，以免水氣和silane反應
: 通silane的方式有很多種，我所使用的是揮發：
: (TRIDECAFLUORO-1,1,2,2-TETRAHYDROOCTYL)TRICHLOROSILANE
: 祝實驗順利 :)
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推
04/21 14:21, , 1F
04/21 14:21, 1F
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