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討論串[問題] 利用PDMS翻模
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想請問一下使用PDMS翻模(150nm寬100nm深光柵)翻印不成功. 使用喬越的PDMS及矽油. 製程是先在培養皿調配A劑:B劑:矽油=10:1:1(稀釋PDMS). 並攪拌,將培養皿放入真空球中,利用機械pump抽至2*10-4torr. 持續5mins(確認無氣泡),破真空將PDMS後倒入母模
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如果可以做silanization讓表面成為hydrophobic將會很有幫助,hydrophobic可使:. 1. 母模不沾黏,容易脫模。. 2. 更重要的是可讓PDMS更容易浸潤整個結構。. 我曾經做過直徑150nm深1.5um的母模,在silanization後甚至不需另加壓力或抽真空,. 皆
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想藉此發問一下. 我用的也是喬月的184 PDMS. 翻模的最小規格是 400nm深 400nm寬. 但是翻印不太成功. 我硬模表面有上抗沾. A:B 是 10:1 ---> 是不是也需要稀釋才可以飽模? (依照上面大哥的回答 似乎沒提到?). 並靜置了5小時以上. 用80度考一小時半 雖然我覺得飽
(還有142個字)
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