[問題] 利用PDMS翻模

看板NEMS作者 (誠..)時間13年前 (2011/02/26 20:13), 編輯推噓8(8推 0噓 4→)
留言12則, 8人參與, 最新討論串1/3 (看更多)
想請問一下使用PDMS翻模(150nm寬100nm深光柵)翻印不成功 使用喬越的PDMS及矽油 製程是先在培養皿調配A劑:B劑:矽油=10:1:1(稀釋PDMS) 並攪拌,將培養皿放入真空球中,利用機械pump抽至2*10-4torr 持續5mins(確認無氣泡),破真空將PDMS後倒入母模 再利用真空球抽真空約10mins(確認無氣泡)拿去hotplate上加熱 80度1hr,翻印多次都沒成功,有試過在母模上利用UV-OZONE 使之親水,發現無法拔模,不知道大家是怎麼翻印200nm以下的結構呢 謝謝回答的人 -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc) ◆ From: 114.40.77.14 ※ 編輯: secret320 來自: 114.40.77.14 (02/26 20:13) ※ 編輯: secret320 來自: 114.40.77.14 (02/26 20:14)
推
02/26 22:28, , 1F
100 nm的線寬抽真空通常無用，需要改為加壓艙用壓力擠入
02/26 22:28, 1F
推
02/27 08:02, , 2F
親水會比較好翻嗎!?
02/27 08:02, 2F
推
02/27 19:33, , 3F
可以請問一下您是如何確認無氣泡的呢?
02/27 19:33, 3F
→
02/27 19:43, , 4F
眼睛確認無氣泡後,再多抽真空一段時間,是還有氣泡出現
02/27 19:43, 4F
推
02/27 20:32, , 5F
真的抽太少了 而且可能稀釋過還是很稠
02/27 20:32, 5F
推
02/28 11:48, , 6F
翻奈米的結構用眼睛確認也太囧了...多抽點試試吧
02/28 11:48, 6F
推
03/03 21:17, , 7F
光是200um線寬 都抽上40min~2hr 澆鑄灌模前加介面疏水劑
03/03 21:17, 7F
→
03/03 21:18, , 8F
進烘箱80度c 起碼2hr再緩慢回到室溫 nm等級的真要請教S大
03/03 21:18, 8F
推
03/04 01:20, , 9F
正己烷或環己烷稀釋PDMS，可以稀的跟水一樣，或許會有
03/04 01:20, 9F
→
03/04 01:21, , 10F
幫助。
03/04 01:21, 10F
推
03/18 18:54, , 11F
500nm以下再怎麼抽或壓都沒用的，要通silane讓表面極為疏水
03/18 18:54, 11F
→
03/18 18:55, , 12F
PDMS會自己"吸"上去，甚至有人做過吸上去速率的研究
03/18 18:55, 12F
※ 編輯: secret320 來自: 140.116.81.57 (03/31 14:05)
‣ 更多 secret320 的文章
文章代碼(AID): #1DQEvtdD (NEMS)
討論串 (同標題文章)
以下文章回應了本文：
完整討論串 (本文為第 1 之 3 篇)：
排序： 最舊先 | 最新先 | 留言數
在新視窗開啟完整討論串 (共3篇)
‣ 更多 secret320 的文章
文章代碼(AID): #1DQEvtdD (NEMS)