Re: [問題] lift 光阻去不掉

看板NEMS作者jamesII (james)時間15年前 (2009/05/28 00:13)推噓1(1推 0噓 6→)

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換光阻跟光罩應該是比較安全的做法不過如果要時間快大概可以試一下下面的做法 (A) --------- ------ /--\ (B) -------- ----- \--/ 我猜是因為顯影完很像是(B) 不是 (A) 線寬這麼小光阻的厚度應該不厚所以sputter完大概就整個蓋住 lift-off的時候液體就吃不進去了解決方式 ==> 或許可以把sample斜一個角度打sputter 另外還有一個可能是軟烤時間太久我做4620都會抓比spec建議的軟烤時間和溫度少一點只要顯影得出來就OK 這樣就很好 lift-off ※ 引述《Nicholas0917 (哞)》之銘言： : ※ 引述《Ice98 (又寂寞又美好)》之銘言： : : 1. 相較於e-beam, sputter的包覆性太好 : : lift-off比較難是正常的 : : 2. lift-off前面的黃光是不用硬烤的 : : 或是做完黃光放太久, 光阻也會乾掉 : : 最好是黃光做完馬上鍍金屬, 接著直接丟進丙酮再回去睡覺 : : 隔天就可以直接收成啦!~ : : 3. AZ5214受熱溫度太高形成片狀的話, 連丙酮都去不掉 : : 建議用4620, 對溫度的忍受度較好, 厚度較厚也適合lift-off : : 4. 不能打超音波, 可以拿毛筆刷刷刷嗎? 禾斗禾斗禾斗 : 真的很感激這位大大的幫忙...救甘興耶 : 可是 : 1.這裡我只能用sputter....沒有e-beam(吐血) : 2.我都沒硬烤阿...硬烤都會失敗 : 我的確都黃光做完直接去鍍,鍍完放到丙酮然後去睡覺...隔天驗收..結果-->(吐血x2) : 3.我一定要用5214做反轉成負光阻,因為這裡沒負光阻(吐血x3) : 4.毛筆..用過了...我的device會掛.....(e04 @#$%!) : 我要寫個慘字~~~~~~~~~~救命阿~~~~~ : 我試過把鋁厚度降低--->失敗 : 上光阻前不塗HMDS--->失敗 : 用KOH或鋁蝕刻液去吃光阻或鋁,但會影響到我的device--->失敗中的失敗 : 請問還有別的方法可試嗎????????????????????? : 曝光強度會影響嗎lift-off的結果嗎? : 還是我家的丙酮不夠力? : 還是有其他方法可以去光阻但是又不吃鋁? : 大哥~~~救命阿 -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc) ◆ From: 124.8.71.172 ※ 編輯: jamesII 來自: 124.8.71.172 (05/28 00:14)

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Nicholas0917

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Nicholas0917

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