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討論串[問題] lift 光阻去不掉
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#1
[問題] lift 光阻去不掉
推噓0(0推 0噓 0→)留言0則，0人參與, 最新作者Nicholas0917 (哞)時間15年前 (2009/05/26 22:51), 編輯資訊
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各位大大....我想請問一下. 我是用sputter鍍鋁 再去泡丙酮來lift-off. 可是都lift 不掉. 到底是有甚麼問題??. 我的device又不能拿去超音波震. 我用的光阻是AZ5214反轉. 而且以前都lift的掉. 就最近不行. 我把鋁的厚度降低也不行. 到底還有甚麼方法 急急急.
#2
Re: [問題] lift 光阻去不掉
推噓0(0推 0噓 0→)留言0則，0人參與, 最新作者Ice98 (又寂寞又美好)時間15年前 (2009/05/26 23:52), 編輯資訊
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1. 相較於e-beam, sputter的包覆性太好. lift-off比較難是正常的. 2. lift-off前面的黃光是不用硬烤的. 或是做完黃光放太久, 光阻也會乾掉. 最好是黃光做完馬上鍍金屬, 接著直接丟進丙酮再回去睡覺. 隔天就可以直接收成啦!~. 3. AZ5214受熱溫度太高形成片
#3
Re: [問題] lift 光阻去不掉
推噓8(8推 0噓 12→)留言20則，0人參與, 最新作者Nicholas0917 (哞)時間15年前 (2009/05/27 00:36), 編輯資訊
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真的很感激這位大大的幫忙...救甘興耶. 可是. 1.這裡我只能用sputter....沒有e-beam(吐血). 2.我都沒硬烤阿...硬烤都會失敗. 我的確都黃光做完直接去鍍,鍍完放到丙酮然後去睡覺...隔天驗收..結果-->(吐血x2)3.我一定要用5214做反轉成負光阻,因為這裡沒負光阻(吐
(還有145個字)
#4
Re: [問題] lift 光阻去不掉
推噓1(1推 0噓 6→)留言7則，0人參與, 最新作者jamesII (james)時間15年前 (2009/05/28 00:13), 編輯資訊
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換光阻跟光罩應該是比較安全的做法. 不過如果要時間快 大概可以試一下下面的做法. (A). --------- ------. /--\. (B). -------- -----. \--/. 我猜是因為 顯影完很像是(B) 不是 (A). 線寬這麼小 光阻的厚度應該不厚. 所以sputter完大概
(還有98個字)
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