Re: [問題] lift 光阻去不掉
※ 引述《Nicholas0917 (哞)》之銘言：
: 各位大大....我想請問一下
: 我是用sputter鍍鋁 再去泡丙酮來lift-off
: 可是都lift 不掉
: 到底是有甚麼問題??
: 我的device又不能拿去超音波震
: 我用的光阻是AZ5214反轉
: 而且以前都lift的掉
: 就最近不行
: 我把鋁的厚度降低也不行
: 到底還有甚麼方法 急急急
: 拜託了各位大大
1. 相較於e-beam, sputter的包覆性太好
lift-off比較難是正常的
2. lift-off前面的黃光是不用硬烤的
或是做完黃光放太久, 光阻也會乾掉
最好是黃光做完馬上鍍金屬, 接著直接丟進丙酮再回去睡覺
隔天就可以直接收成啦!~
3. AZ5214受熱溫度太高形成片狀的話, 連丙酮都去不掉
建議用4620, 對溫度的忍受度較好, 厚度較厚也適合lift-off
4. 不能打超音波, 可以拿毛筆刷刷刷嗎? 禾斗 禾斗 禾斗
--
※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc)
◆ From: 140.112.14.54
討論串 (同標題文章)