[問題] lift 光阻去不掉
各位大大....我想請問一下
我是用sputter鍍鋁 再去泡丙酮來lift-off
可是都lift 不掉
到底是有甚麼問題??
我的device又不能拿去超音波震
我用的光阻是AZ5214反轉
而且以前都lift的掉
就最近不行
我把鋁的厚度降低也不行
到底還有甚麼方法 急急急
拜託了各位大大
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