Re: [請問]氫氟酸與矽

看板ChemEng作者 (cellowu)時間15年前 (2008/11/06 00:39), 編輯推噓0(000)
留言0則, 0人參與, 最新討論串3/7 (看更多)
※ 引述《PDADDY (All Eyez On Me)》之銘言: : ※ 引述《NBC427 (煞科)》之銘言: : : 請問熟知化學的先進 : : 矽片(完全未經製程 是來料且被拋光的矽) : : 跟氫氟酸溶液不會起反應 : HF和silicon本來就不會反應 : HF主要是和silicon dioxide反應 : : 在物質安全資料表上 氫氟酸應該比重是小於矽才對 : : (HF:1.4, Si:2.32 g/cm^3) : : 為何把矽丟入氫氟酸內 矽反而會浮上來呢 : : 這是在學校做過的實驗 但不了解為何會這樣 : 如果是一般市售的silicon wafer(厚度大約200~300micro) : 丟進HF溶液理 的確有機會飄浮在水面 : 不過是因為表面張力的關係 : 你去推一下wafer 改變他的平衡 就會沉下去了 : 如果是你丟進去 下沉再浮起來 就是有反應了 : 不過不是silicon 和HF的反應 : 而是silicon表面在空氣中自然形成的silicon dioxide和HF反應 : wafer背面和正面都會有小汽泡 因此wafer就會浮起來了 : 一般人可能會覺得拋光後應該就沒有氧化層了 : 的確是這樣沒錯 不過放在空氣中還是會繼續生成氧化層 : 判斷silicon wafer表面有沒有氧化層的方式 : 一般是用親疏水性來判斷 : 不過如果表面拋光品質夠好 就算有50~100nm厚度的氧化層 ^^^^^^^^^^^^^^^^^^^^^^^^ 一般的的wafer 之氧化層會呈疏水性,要先吃過HF他會先變親水性(這時還是氧化層) 最後再變回疏水性(無氧化層) : 依然是呈現疏水性的 : 這和一般常理相違背 : 我們推測應該是表面經過拋光變得過於平整 : 水分子沒辦法附著在上面的關係 : 有點類似荷葉上的水珠的感覺 -- -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc) ◆ From: 140.118.160.104
文章代碼(AID): #194SnGO9 (ChemEng)
討論串 (同標題文章)
文章代碼(AID): #194SnGO9 (ChemEng)