作者查詢 / linkuanyu

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作者 linkuanyu 在 PTT [ NEMS ] 看板的留言(推文), 共6則
限定看板:NEMS
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[問題] 詢問沉積5微米厚的二氧化矽注意事項
[ NEMS ]14 留言, 推噓總分: +10
作者: achieveman - 發表於 2011/07/13 13:35(13年前)
1Flinkuanyu:在北微用嗎?如果是的話1.膜厚計要用新的2.tooling值請07/13 20:47
2Flinkuanyu:詢問好心的北微人員3.我看你這要鍍很多次喔因為鍍二氧07/13 20:48
3Flinkuanyu:化矽很燒靶材,一次放個兩三鍋吧。這個也先問問北微人員07/13 20:49
4Flinkuanyu:品質跟真空度相關所以盡可能隔夜抽真空吧07/13 20:50
5Flinkuanyu:我的經驗是兩鍋的靶材鍍6000A就很拚了07/13 20:52
[問題] HMDS的問題
[ NEMS ]3 留言, 推噓總分: +2
作者: leftone - 發表於 2011/06/16 23:51(13年前)
1Flinkuanyu:你是用哪種模式呢?小線寬試試看Hard Contact06/17 18:08
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