[問題] HMDS的問題

看板NEMS作者 (左左移)時間13年前 (2011/06/16 23:51), 編輯推噓2(2推 0噓 1→)
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請問大家 最近做實驗時, 發現原來光罩2um的線寬, 最近卻常常曝不出來 是不是HMDS有問題? 謝謝大家 -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc) ◆ From: 1.169.136.20
推
06/17 18:08, , 1F
你是用哪種模式呢？小線寬試試看Hard Contact
06/17 18:08, 1F
推
06/17 19:30, , 2F
最近也想買HDMS，可以跟原PO請教產品型號嗎?
06/17 19:30, 2F
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06/17 19:31, , 3F
Sigma的HMDS有好幾種等級...不知該選哪個
06/17 19:31, 3F
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文章代碼(AID): #1D-YQA09 (NEMS)