作者 cbshu 在 PTT [ NEMS ] 看板的留言(推文), 共19則

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作者: linkuanyu - 發表於 2010/12/28 21:56(15年前)

3^F推cbshu:清大的EVG bonder可以對準,用旁邊的EVG曝光機。02/19 16:06

4^F→cbshu:bonder的holder可以直接裝進去align,有bonder的module02/19 16:06

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作者: newbrain - 發表於 2010/03/26 10:13(15年前)

6^F推cbshu:科儀中心03/27 19:47

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作者: thor0805 - 發表於 2010/02/06 20:58(16年前)

6^F推cbshu:相關資訊google很多才是02/10 07:57

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作者: leox243 - 發表於 2010/01/15 21:02(16年前)

7^F推cbshu:有雙面的01/19 11:26

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作者: dantallcool - 發表於 2009/11/11 15:50(16年前)

4^F推cbshu:Si3N4選擇比比較高一點11/14 19:57

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作者: NCC1701 - 發表於 2009/09/11 21:34(16年前)

2^F推cbshu:中研院不是不收代工嗎?09/13 21:34

3^F→cbshu:工研院可以也可以用Cr當作hardmask09/13 21:34

4^F→cbshu:只是看你的蝕刻速率應該是要找RIE吧?09/13 21:35

5^F→cbshu:RIE的話要用Cr當作MASK的機台就不是很清楚了09/13 21:35

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作者: cbshu - 發表於 2009/07/19 16:34(16年前)

2^F→cbshu:因為我就不是做CMOS MEMS的加速度計,所以 XD07/19 16:43

3^F→cbshu:我們實驗室的確有一組CMOS MEMS07/19 16:44

4^F→cbshu:不過並不是學術界都往CMOSMEMS這個方向我是這樣覺得啦07/19 16:46

5^F→cbshu:Bulk也有很多的優勢,所以實驗室兩者都有人在研究07/19 16:47

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作者: fluid - 發表於 2009/07/19 03:40(16年前)

1^F推cbshu:確定很多人都是往CMOS MEMS方向做嗎?07/19 16:29

2^F→cbshu:如果有survey過的話,業界很多都不是CMOS MEMS的喔07/19 16:30

3^F→cbshu:for example: ADIXL335就不是了07/19 16:30

4^F→cbshu:剛去了 transducer,actuator的題目比較少一些了07/19 16:32

5^F→cbshu:除非是特殊的製程或是材料..07/19 16:32

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