[問題] Si-7740 glass 陽極接合

看板NEMS作者 (linkuanyu)時間13年前 (2010/12/28 21:56), 編輯推噓3(3推 0噓 1→)
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請問一下 台灣哪個單位有可對準、可抽真空的陽極接合機 目前我只找到清大有一台陽極接合機但是無法對準 清大的做法是必須要在其他機台進行對準之後再移動到陽極接合機台 因此 希望能找到符合我的需求的機器 在此先謝謝大家的幫忙 麻煩了 ^^ -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc) ◆ From: 140.112.39.127
推
12/29 07:42, , 1F
應力所學長or學弟? UCLA有...XD
12/29 07:42, 1F
推
12/29 07:43, , 2F
可以對準　我不確定可不可以抽真空..
12/29 07:43, 2F
推
02/19 16:06, , 3F
清大的EVG bonder可以對準,用旁邊的EVG曝光機。
02/19 16:06, 3F
→
02/19 16:06, , 4F
bonder的holder可以直接裝進去align,有bonder的module
02/19 16:06, 4F
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