作者 TreeMan 在 PTT [ NEMS ] 看板的留言(推文), 共60則

[問題] 請問薄PDMS怎麼脫模?

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作者: ckris1945 - 發表於 2012/03/08 21:52(13年前)

1^F→TreeMan:我們是用Dichlorodimethylsilane (sigma 440272) 也是03/08 23:09

2^F→TreeMan:可以，另外要拿薄的PDMS，可以塗佈完薄層後，再黏一塊厚03/08 23:11

3^F→TreeMan:的到邊緣上(用氧電漿或PDMS黏)，然後去撕厚的，進而帶起03/08 23:13

4^F→TreeMan:薄的03/08 23:13

[問題] mems入門的書

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作者: popoyellow - 發表於 2012/02/24 02:32(13年前)

5^F推TreeMan:如果是做lab on chip或生物檢測相關的，可參考Patrick的02/24 09:33

6^F→TreeMan:http://goo.gl/2VRvo 不過他是偏微流道的，你可以先看看02/24 09:39

7^F→TreeMan:簡介，看有沒有符合你的需求~02/24 09:40

[問題] 幾百元的光罩?

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作者: euser1777 - 發表於 2012/01/06 12:13(14年前)

1^F→TreeMan:如果是膠片光罩可以參考#1ELwHiGe01/06 12:55

[問題] PDMS打洞工具

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作者: sort897 - 發表於 2011/12/15 21:08(14年前)

1^F推TreeMan:http://www.fomobio.com/MoKAI_Punch.html <--這個？12/16 00:51

[問題] SU-8 on glass

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作者: alich - 發表於 2011/12/12 16:09(14年前)

3^F推TreeMan:也可以試看看先spin HMDS12/13 01:34

[問題] 膠片光罩

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作者: alich - 發表於 2011/11/10 01:52(14年前)

1^F推TreeMan:我也想問XD 之前老師是說要用quartz，所以我們是回收11/10 02:42

2^F→TreeMan:玻璃光罩，洗掉上面的pattern繼續用，但我同學用普通玻璃11/10 02:43

3^F→TreeMan:也可以，所以是線寬很小的時候才會有差嗎？11/10 02:44

[問題] 光罩的廠商

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作者: cynthiafish - 發表於 2011/08/26 21:49(14年前)

3^F推TreeMan:http://www.acmetw.com/new_pages/home.html 慶業08/27 00:33

4^F→TreeMan:最小線寬>40 微米(含)以上會準，以下有時會失敗...08/27 00:34

7^F推TreeMan:1張A3?(比A4大就是XD)500摳，說到這...我也都沒比過價囧08/27 16:07

[問題] 請教在玻璃上做凹槽~

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作者: TreeMan - 發表於 2011/08/24 16:26(14年前)

3^F→TreeMan:blue大溫度過高是指BOE反應溫度還是軟硬烤？BOE反應是在08/24 17:15

4^F→TreeMan:室溫下；至於軟硬烤則是有用S1813當阻擋層的paper之參數08/24 17:16

5^F→TreeMan:光阻和玻璃較差沒錯...之前用只是因為方便進行XD08/24 17:17

[問題] HMDS的問題

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作者: leftone - 發表於 2011/06/16 23:51(14年前)

2^F推TreeMan:最近也想買HDMS，可以跟原PO請教產品型號嗎?06/17 19:30

3^F→TreeMan:Sigma的HMDS有好幾種等級...不知該選哪個06/17 19:31

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