[問題] SU-8 on glass

看板NEMS作者alich (阿力取)時間12年前 (2011/12/12 16:09)推噓3(3推 0噓 4→)

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不好意思> < 有製程上的問題想請教各位學長姊，是關於在玻璃基板上做SU-8的pattern，SU-8在玻璃上的貼附性的問題今天去試做了，想用SU-8 2005做一個厚度5um的結構，結果顯影出來好像SU-8剝離了? 整個pattern變的爛爛的QQ 想請問學長姊可能是哪裡出了錯，或是有什麼辦法改善這個問題呢? 我的process如下: 去水烘烤120度 10min spin coating 500rpm 10sec 4000rpm 30sec soft bake 95度 2min 曝光40秒 PEB 95度 2min 顯影1min 謝謝你們:) -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc) ◆ From: 140.114.187.87

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honna

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oreoctrl

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TreeMan

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