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討論串[請益] 台積離子佈植設備
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補充一下幾點. solid source有一種更可怕的東西叫CBH的 Source Head不但跟一般的還不一樣,還兩天就要換一次真的會搞死人. Varian較舊的機型HCS D2或是現在的Trident EPM在爛的的時候,會glitch到你懷疑人生. 測漏不是N2啦 是He. S/H O-rin
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IMP 分為 Wheel ChamDber與Single Camber因為Wheel Chamber 的報廢批太大一次13Pcs，所以GG後期皆改良為Single。. 其中High/Medium Current如果是Indium orGermanium 那會常PM後outgassing. 到往生，其
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人在日本出差 晚上無聊來發發廢文聊一下imp. 小弟之前在某fab內顧過幾年的imp. 台灣的imp機台供應商大概有三家 AMAT Axcelis SHI. 小弟只顧過兩個A社的. 所以聊聊這兩家的機台. 前面有人提到說 沒三年不敢說懂imp. 個人還蠻認同的. 沒一定經驗我看連想解讀alarm m
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Imp的設備在真空設備是最難的. 一般來說，沒三年，真的不懂imp. 高真空，高電壓，高溫，毒氣，機械夾傷等. 不過設備的interlock很多，多到你會吐血. 安全防範很多，大致不用擔心. 台積廠務設置的氫鍵偵測非常的靈敏. 很多時候，開個鋼瓶，可能廠務就跑來了. 還有幅射，設備都用鉛板擋著. 我
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