Re: [請益] 台積離子佈植設備

看板Tech_Job作者 (しゅぽん)時間6年前 (2019/09/21 19:39), 編輯推噓24(24推 0噓 19→)
留言43則, 19人參與, 6年前最新討論串3/5 (看更多)
人在日本出差 晚上無聊來發發廢文聊一下imp 小弟之前在某fab內顧過幾年的imp 台灣的imp機台供應商大概有三家 AMAT Axcelis SHI 小弟只顧過兩個A社的 所以聊聊這兩家的機台 前面有人提到說 沒三年不敢說懂imp 個人還蠻認同的 沒一定經驗我看連想解讀alarm message都蠻困難的 不過說是真空機台內最難的我倒是不太認同 畢竟imp內部沒有光路 隨便一台有光路的機台難度都屌打imp 而且就算被PE highlight 說機台run出來的產品有問題要處理 最後也就換換parts tunebeam完以後就完事了 另外IMP個人認為算是蠻危險的機台 不光是平常使用的是毒氣之外 (B P As) 還有機會會發爐 有遇過一抽真空機台就shutdown開始冒煙 而且機台parts普通偏重 又需要常常拆卸 危險性跟其他module比起來應該也有前三吧 (? 後面聊聊機台 AMAT現在主力的機台是trident 900xp 這兩種beamline型機台 只要平常parts的品質夠好 顧起來都算輕鬆的 (反而言之parts爛的時候就知道了XD) 另外還有一種叫PLAD 顧到這種機台的很屎 不光是機台很屎 聞起來也很屎 不過這機台就真的比較難 應該很少會給新人顧 但是PM的時候就會很想死了 因為真的很臭 axcelis的機台就high energy類跟現在最新的purionH a社的機台就很難顧 因為AMAT的機台程式整合得很好 照著SOP通常都不會有甚麼問題 a社的就很多毛 傳片也是特別的disk式 是以前八吋的霸者 現在就被AMAT打趴 至於以前上班的生活 大概就是PM 顧SPC、FDC 撿螺絲 刷地板 整理環境之類的 值班就是有消不完的alarm跟tune不完的beam還有跟OP吵架 tunebeam也很吃個人技術跟經驗 要怎麼tune到小姐都覺得你超屌就是個人技術了 心得大概就是這些 雖然我最後還是離職了 不過普遍聽到的imp的離職率其實還蠻低的 (連日本的fab好像也是) 或許imp真的就是這麼好顧也說不定 -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc), 來自: 221.114.7.138 (日本) ※ 文章網址: https://www.ptt.cc/bbs/Tech_Job/M.1569065981.A.ED0.html
推
09/21 19:52, 6年前 , 1F
這能推
09/21 19:52, 1F
推
09/21 20:09, 6年前 , 2F
專業推
09/21 20:09, 2F
推
09/21 20:15, 6年前 , 3F
PLAD 真的屎 當初光是particle 的問題就快爆炸，但不管
09/21 20:15, 3F
→
09/21 20:15, 6年前 , 4F
是Trident 或其他機型PM 的時候真的都很臭…
09/21 20:15, 4F
推
09/21 20:21, 6年前 , 5F
專業推！
09/21 20:21, 5F
推
09/21 20:23, 6年前 , 6F
IMP 最常發生 Source head 短路，有時用塑槌敲敲又不會
09/21 20:23, 6F
→
09/21 20:23, 6年前 , 7F
短路，不必再更換S/H 抽真空，因開關turbo /Cory pump
09/21 20:23, 7F
→
09/21 20:23, 6年前 , 8F
會有水氣，需要 Outgassing 許久時間，導致不易tune be
09/21 20:23, 8F
→
09/21 20:23, 6年前 , 9F
am，也無法達到所要的 Beam current
09/21 20:23, 9F
推
09/21 20:30, 6年前 , 10F
之後 Imp 機台有發展出一套 Auto tune beam（snapshot）
09/21 20:30, 10F
→
09/21 20:30, 6年前 , 11F
的功能，但可能效果不佳，還是需要人為介入；以前是沒
09/21 20:30, 11F
→
09/21 20:30, 6年前 , 12F
有 tune beam OP，因常常好幾台同時 Alarm，工程師忙於T
09/21 20:30, 12F
→
09/21 20:30, 6年前 , 13F
une beam，導致影響產能，最後每班都有 調機OP
09/21 20:30, 13F
推
09/21 20:36, 6年前 , 14F
再者更換 As/BF/Ge鋼品時，加裝 gasket時，怕的要死，吸
09/21 20:36, 14F
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09/21 20:36, 6年前 , 15F
一口GG或全場疏散，然而低壓鋼瓶是安全，但是就是會有
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→
09/21 20:36, 6年前 , 16F
心理壓力
09/21 20:36, 16F
推
09/21 20:40, 6年前 , 17F
再者更換鋼瓶需要通知ERC並穿戴SCBA，並通知隔離
09/21 20:40, 17F
推
09/21 21:15, 6年前 , 18F
有看沒有懂（誤，但覺得專業給推！
09/21 21:15, 18F
推
09/21 22:13, 6年前 , 19F
設備弟兄推一個
09/21 22:13, 19F
→
09/21 22:20, 6年前 , 20F
啥是光路？
09/21 22:20, 20F
推
09/21 22:27, 6年前 , 21F
10年前High current 與 Medium Current 為 Varian 所製
09/21 22:27, 21F
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09/21 22:27, 6年前 , 22F
造開發，但是後期被Apply所併購！其中顧 High Current
09/21 22:27, 22F
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09/21 22:27, 6年前 , 23F
（High Dose)最難照顧，最可能植入過多Dose 量，無法再
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09/21 22:27, 6年前 , 24F
補，因而整個Chamber 可能一批都報廢，另外HC 常開Chamb
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09/21 22:27, 6年前 , 25F
er PM （因為高Dose量）因此 Particle 常Out SPC；High
09/21 22:27, 25F
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09/21 22:27, 6年前 , 26F
Energy 構造更為複雜，尤其Robert 傳送與牛奶桶真空洩
09/21 22:27, 26F
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09/21 22:27, 6年前 , 27F
漏，可能會當機ㄧ整天
09/21 22:27, 27F
推
09/21 22:36, 6年前 , 28F
這是 moonth66 ???
09/21 22:36, 28F
推
09/21 22:38, 6年前 , 29F
但是如果離開IMP，就幾乎什麼都不是，因為外界可用性太
09/21 22:38, 29F
→
09/21 22:38, 6年前 , 30F
小
09/21 22:38, 30F
推
09/21 22:40, 6年前 , 31F
離開GG，人生GG！
09/21 22:40, 31F
推
09/21 22:59, 6年前 , 32F
我還以為plad比較小台應該比較好顧
09/21 22:59, 32F
推
09/21 23:08, 6年前 , 33F
Imp 同學會!
09/21 23:08, 33F
推
09/21 23:33, 6年前 , 34F
Imp我不懂 怎整串推文我都看得懂！
09/21 23:33, 34F
推
09/22 00:03, 6年前 , 35F
還有一家imp 設備AIBT某大廠也很愛用
09/22 00:03, 35F
推
09/22 00:32, 6年前 , 36F
原po之前該不會待過北部某記憶體廠吧
09/22 00:32, 36F
推
09/22 00:33, 6年前 , 37F
在etch面前都是____
09/22 00:33, 37F
推
09/22 01:11, 6年前 , 38F
知道 亞舍立的purionH應該待過南亞
09/22 01:11, 38F
推
09/22 08:52, 6年前 , 39F
現在還有sen ..
09/22 08:52, 39F
推
09/22 11:11, 6年前 , 40F
axcelis purion H 是high current..他們現在一直推這
09/22 11:11, 40F
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09/22 11:11, 6年前 , 41F
機型..不用待過南亞科也知道的..
09/22 11:11, 41F
推
09/22 12:44, 6年前 , 42F
現在大魔王是低溫機台吧，particle搞死你
09/22 12:44, 42F
→
09/22 15:25, 6年前 , 43F
推
09/22 15:25, 43F
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