Re: [請益] 台積離子佈植設備

看板Tech_Job作者 (一天工作14小時 ! 真操 .)時間4年前 (2019/09/22 10:10), 4年前編輯推噓21(23推 2噓 24→)
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IMP 分為 Wheel ChamDber與Single Camber因為Wheel Chamber 的報廢批太大一 次13Pcs，所以GG後期皆改良為Single。 其中High/Medium Current如果是Indium orGermanium 那會常PM後outgassing 到往生，其實有解決方法，只要把粉狀藥劑與Source Head放在最後裝上，且Source Hea d/ Liner需昨天就已置於烤箱中，可減少outgassing的時間，再者建置高真空時，前後多 做幾次N2 purge，可減少異味也可快速建置真空，其實最怕做到此類型機台，有時候 Exh aust沒做好，異味外洩有可能全場疏散。 另一項最為頭痛的為Source Head Filament/PFG Short，其中S/H short 有解決 方法，就 是將 Filament Cathode 與 Liner 間 改良Liner為倒梯形，一方面不會導致Plasma外逸 ，另一方面可以增加Filament Cathode 與 Liner 間距，減少Short的機會延長PM時間。 Source Head也常常建置真空後，S/H後端外管漏水，解決方法為建置OFF Line 測 漏水。 S/H O-ring 對建置高中空也其為重要，最好OFF Line就檢查，當建置粗真空時( 即Turbo Pump 打開) 一定要用N2測漏儀器測漏，否則建置不起來高真空，或是導致 Cryo Pump 回 溫這可能要到隔天去了。 因為IMP製程適用於半導體與Dram，但是Dram 的IMP Recipe其 Energy與Dose相 對單純固定，不像半導體有幾百隻IMP Recipe常常需要切換，導致常常需要PM。 其IMP 所學範圍極窄，只是用半導體業，GG 轉職也只能去 Vendor作 trouble shooting或幫忙原廠更新零件配置的功能，離開GG，人生GG，忠言又逆耳。 ※ 引述《yai5217 (しゅぽん)》之銘言： : 人在日本出差 晚上無聊來發發廢文聊一下imp : 小弟之前在某fab內顧過幾年的imp : 台灣的imp機台供應商大概有三家 AMAT Axcelis SHI : 小弟只顧過兩個A社的 : 所以聊聊這兩家的機台 : 前面有人提到說 沒三年不敢說懂imp : 個人還蠻認同的 : 沒一定經驗我看連想解讀alarm message都蠻困難的 : 不過說是真空機台內最難的我倒是不太認同 : 畢竟imp內部沒有光路 隨便一台有光路的機台難度都屌打imp : 而且就算被PE highlight 說機台run出來的產品有問題要處理 : 最後也就換換parts tunebeam完以後就完事了 : 另外IMP個人認為算是蠻危險的機台 : 不光是平常使用的是毒氣之外 (B P As) : 還有機會會發爐 有遇過一抽真空機台就shutdown開始冒煙 : 而且機台parts普通偏重 又需要常常拆卸 : 危險性跟其他module比起來應該也有前三吧 (? : 後面聊聊機台 : AMAT現在主力的機台是trident 900xp : 這兩種beamline型機台 只要平常parts的品質夠好 : 顧起來都算輕鬆的 (反而言之parts爛的時候就知道了XD) : 另外還有一種叫PLAD 顧到這種機台的很屎 : 不光是機台很屎 聞起來也很屎 : 不過這機台就真的比較難 應該很少會給新人顧 : 但是PM的時候就會很想死了 因為真的很臭 : axcelis的機台就high energy類跟現在最新的purionH : a社的機台就很難顧 : 因為AMAT的機台程式整合得很好 照著SOP通常都不會有甚麼問題 : a社的就很多毛 傳片也是特別的disk式 : 是以前八吋的霸者 現在就被AMAT打趴 : 至於以前上班的生活 : 大概就是PM 顧SPC、FDC 撿螺絲 刷地板 整理環境之類的 : 值班就是有消不完的alarm跟tune不完的beam還有跟OP吵架 : tunebeam也很吃個人技術跟經驗 : 要怎麼tune到小姐都覺得你超屌就是個人技術了 : 心得大概就是這些 : 雖然我最後還是離職了 : 不過普遍聽到的imp的離職率其實還蠻低的 (連日本的fab好像也是) : 或許imp真的就是這麼好顧也說不定 -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc), 來自: 223.26.97.103 (臺灣) ※ 文章網址: https://www.ptt.cc/bbs/Tech_Job/M.1569118235.A.4AF.html
推
09/22 10:20, 4年前 , 1F
這系列文真不錯 不知道未來有沒有黃光、蝕刻等的機台分享
09/22 10:20, 1F
噓
09/22 10:21, 4年前 , 2F
排版
09/22 10:21, 2F
※ 編輯: moonth66 (223.26.96.185 臺灣), 09/22/2019 10:35:53 ※ 編輯: moonth66 (223.26.96.185 臺灣), 09/22/2019 10:37:29
推
09/22 10:41, 4年前 , 3F
好奇有哪個顧機台所學範圍不窄
09/22 10:41, 3F
→
09/22 10:42, 4年前 , 4F
其他產業的know how 你下班一樣用不到
09/22 10:42, 4F
噓
09/22 11:05, 4年前 , 5F
晶晶體
09/22 11:05, 5F
推
09/22 11:35, 4年前 , 6F
好文必須推啊！！！
09/22 11:35, 6F
推
09/22 11:43, 4年前 , 7F
專業推 不過沒做過imp應該看不太懂
09/22 11:43, 7F
推
09/22 12:00, 4年前 , 8F
離開了 感恩但慶幸
09/22 12:00, 8F
推
09/22 12:01, 4年前 , 9F
推
09/22 12:01, 9F
推
09/22 12:35, 4年前 , 10F
專業本來就是窄門呀，時間有限不可能樣樣精
09/22 12:35, 10F
推
09/22 12:42, 4年前 , 11F
前蝕刻設備表示好像懂又好像不懂
09/22 12:42, 11F
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09/22 13:04, 4年前 , 12F
沒做過IPM也看得懂啊...真空有beam的東西不都大同小異
09/22 13:04, 12F
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09/22 13:08, 4年前 , 13F
如下面那篇說的，測漏是He不是N2...
09/22 13:08, 13F
推
09/22 13:19, 4年前 , 14F
以後出去可以去顧炸雞排設備啊，油溫曲線控制
09/22 13:19, 14F
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09/22 13:20, 4年前 , 15F
對各類炸物的影響，多久要PM一次濾網，換油跟filter
09/22 13:20, 15F
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09/22 13:24, 4年前 , 16F
雞排麵漿的塗布(Coating)，炸成金黃色(Development)
09/22 13:24, 16F
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09/22 13:26, 4年前 , 17F
撒胡椒粉(Pepper Implantation)
09/22 13:26, 17F
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09/22 13:28, 4年前 , 18F
目視檢查(Visual inspection)，裝袋封裝(Packaging)
09/22 13:28, 18F
推
09/22 13:37, 4年前 , 19F
推....這系列文應該要推廣才是
09/22 13:37, 19F
推
09/22 14:32, 4年前 , 20F
有點想問這版的，有看過醫生骨科轉泌尿科，皮膚科轉
09/22 14:32, 20F
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09/22 14:33, 4年前 , 21F
眼科嗎？但從榮總轉到長庚，高醫轉到地區醫院很正常
09/22 14:33, 21F
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09/22 14:33, 4年前 , 22F
。 同理IMP 轉ETC 或轉DIF也是接近不可能，但是你高
09/22 14:33, 22F
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09/22 14:33, 4年前 , 23F
興可以從GG轉去UMC 沒人會攔你
09/22 14:33, 23F
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09/22 14:35, 4年前 , 24F
但假如是小七店員，你要轉百貨專櫃，轉保全，轉保險
09/22 14:35, 24F
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09/22 14:35, 4年前 , 25F
業務，轉餐飲業，我相信更可以成功轉職～～～
09/22 14:35, 25F
推
09/22 14:47, 4年前 , 26F
推大大分享
09/22 14:47, 26F
推
09/22 15:24, 4年前 , 27F
推
09/22 15:24, 27F
推
09/22 15:32, 4年前 , 28F
這種文用晶晶體才好讀好嗎　　噓的到底在想啥
09/22 15:32, 28F
推
09/22 16:39, 4年前 , 29F
最後一段是重點啊....
09/22 16:39, 29F
推
09/22 17:24, 4年前 , 30F
噓晶晶體的有沒有在科技業上班啊？
09/22 17:24, 30F
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09/22 19:27, 4年前 , 31F
加入台積，正是時機
09/22 19:27, 31F
推
09/23 00:06, 4年前 , 32F
噓晶晶體的是沒在fab待過是不是…
09/23 00:06, 32F
推
09/23 00:17, 4年前 , 33F
我也都看得懂 囧 當初要PM 前把要換的SH 放在烤箱真的
09/23 00:17, 33F
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09/23 00:17, 4年前 , 34F
有差，但還不像老鳥一樣可以半夜短路自己PM ，要換SH
09/23 00:17, 34F
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09/23 00:17, 4年前 , 35F
拆裝真的很麻煩…
09/23 00:17, 35F
推
09/23 02:23, 4年前 , 36F
P到最後完全靠運氣 甚麼鳥狀況都有可能
09/23 02:23, 36F
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09/23 02:26, 4年前 , 37F
Filament斷掉 用久密封差抓不到漏點 還有Cathode跑掉的
09/23 02:26, 37F
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09/23 02:28, 4年前 , 38F
PFG桐柱燒掉 換parts沒裝好真空不足
09/23 02:28, 38F
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09/23 06:40, 4年前 , 39F
曾半夜自己完成quaternary PM，因為隔天剛好要P，只因
09/23 06:40, 39F
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09/23 06:40, 4年前 , 40F
為時間點尷尬，剛好凌晨1點 S/H 斷掉
09/23 06:40, 40F
推
09/23 09:46, 4年前 , 41F
噓晶晶體的在科技業工作嗎哈哈 同事講話都是這樣的
09/23 09:46, 41F
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09/23 19:10, 4年前 , 42F
一個人喔...這麼硬XD
09/23 19:10, 42F
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09/23 20:03, 4年前 , 43F
不曉得有沒有人在淒涼的寒冬晚上，外面飄著毛毛細雨，獨
09/23 20:03, 43F
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09/23 20:03, 4年前 , 44F
自推著推車經過長廊去倉庫領料，回到機台旁，自己P年保
09/23 20:03, 44F
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09/23 20:03, 4年前 , 45F
，慢慢度過這個孤寂的寒夜！
09/23 20:03, 45F
推
09/23 20:15, 4年前 , 46F
年保也太硬…該不會連石墨都要自己換吧？！
09/23 20:15, 46F
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09/24 06:32, 4年前 , 47F
慢慢換，反正有9小時，至少不用出來交接晨會被狗幹！
09/24 06:32, 47F
推
09/24 12:35, 4年前 , 48F
都穿無塵服應該感受不到XD
09/24 12:35, 48F
推
09/24 14:59, 4年前 , 49F
專業文 沒10年寫不出這些心得
09/24 14:59, 49F
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