[問題] 半導體製程

看板Physics作者adrian0215 (...)時間17年前 (2008/09/30 17:54)推噓3(3推 0噓 1→)

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在讀施敏的半導體製程時在提到濕式化學蝕刻(等向性)與乾性物理蝕刻(非等向性) 認為非等向性是一種優點??? 可是等向性不是得到很整齊的邊緣嗎??? 為什麼這個章節認為非等向性的輪廓是一種優點呢?? 感謝回答 -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc) ◆ From: 210.69.13.1 ※ 編輯: adrian0215 來自: 210.69.13.1 (09/30 17:55)

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victor896

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victor896

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quaintness

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