Re: 製程-SOP
實驗室有一片laser diode mask(要再找一下)
有一條線寬是 2um
可以拿去作條件測試
如果可以作出漂亮的 2um PR left
表示 exposure 條件還不錯
顯影時間通常是怕不夠而不是太多...
如果軟硬烤作得好, 曝久一點不會影響太大
以上
※ 引述《SPKing (我是老大)》之銘言：
: ※ 引述《dodido (某派)》之銘言：
: : 老師我有問題。（舉手）
: : 曝光顯影的時候啊
: : 要怎麼分辨是曝光時間不夠還是顯影時間不夠？
: : 或者通常會怎麼去做測試呀？
: 我現在是這樣啦 反正仗著線寬很寬沒在怕繞射~ 先拿一片sample
: 曝光時間先固定(別人似乎都是先試8秒 我是15秒)
: 然後顯影就30秒開始往上加
: 第一道製程很好辨認 因為通常30秒深色的s1813大概就會掉了(表層顏色會變淺)
: 底層的LOR沒顯掉的話會有彩色的東西出現而不是sample表面顏色
: 那就再加時間 大約20秒20秒的加吧
: 圖案邊緣還沒產生糊掉的現象就表示還撐的住 keepgoing直到LOR洗掉
: 此時表面的圖案會很乾淨漂亮 而且邊緣會有兩層edge的感覺 (S1813+LOR)
: 如果顯了快要2分鐘LOR還是沒掉 甚至是深色的s1813都還在的話
: 就表示一開始顯影顯的不夠 第二片之後就再加時間
: 然後repeat
: 測試好一片的情形後 後面的幾片就大概知道 就可以一次曝光完一起顯影
: 再每片慢慢看好不好 ya 通常同一批一起做的sample都是兄弟姐妹應該沒啥問題的
: 當然也有自以為都顯影好了 然後鍍完金屬lift-off就吃屎的情況…
: 也只好砍掉重鍊啦XD 反正線寬夠寬的話就有本錢曝久一點卡安全
: 第二道製程的話 如果light power一樣
: 曝光一樣時間，因為光阻比較薄(只有一層) 一樣的顯影時間一定顯的掉 就ok啦
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