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討論串製程-SOP
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#1
製程-SOP
推噓5(5推 0噓 2→)留言7則，0人參與, 最新作者SPKing (我是老大)時間15年前 (2008/10/09 00:45), 編輯資訊
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1。 CLEAN： 丙酮 / 90 oC / 5 min. 甲醇 / 90 oC / 5 min. 水 / *吹乾即可. 2。 光阻 ： LOR / 4000 rpm / 40 s. 軟烤 / 120 oC / 5 min. S1813 / 1000 rpm / 10 s. / 4000 rpm /
(還有1056個字)
#2
Re: 製程-SOP
推噓1(1推 0噓 1→)留言2則，0人參與, 最新作者SPKing (我是老大)時間15年前 (2008/10/10 23:36), 編輯資訊
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我現在是這樣啦 反正仗著線寬很寬沒在怕繞射~ 先拿一片sample. 曝光時間先固定(別人似乎都是先試8秒 我是15秒). 然後顯影就30秒開始往上加. 第一道製程很好辨認 因為通常30秒深色的s1813大概就會掉了(表層顏色會變淺). 底層的LOR沒顯掉的話會有彩色的東西出現而不是sample表面
(還有358個字)
#3
Re: 製程-SOP
推噓0(0推 0噓 0→)留言0則，0人參與, 最新作者Garfinn (InnInn.com)時間15年前 (2008/10/10 23:48), 編輯資訊
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實驗室有一片laser diode mask(要再找一下). 有一條線寬是 2um. 可以拿去作條件測試. 如果可以作出漂亮的 2um PR left. 表示 exposure 條件還不錯. 顯影時間通常是怕不夠而不是太多.... 如果軟硬烤作得好, 曝久一點不會影響太大. 以上. --. ※ 發信
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