[問題] 光阻曝光後光阻形狀

看板NEMS作者 (憨廷)時間11年前 (2013/02/21 01:31), 編輯推噓0(0推 0噓 7→)
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請教一下，我利用塑膠光罩21、23、25、27、29um等，圓心到圓心間距則都是100um ，光阻為az-4620，厚度約25um，但是經過曝光顯影完後卻都差約5um，然後光阻柱底徑 和頂徑再差約6um，曝光時間和溫度都有做過調整，目前參數也是試過後最加的參數 ，有試過調整曝光時間和溫度，但要不是會烤焦就是顯不乾淨，顯影時搖晃幅度也很小 不知道版上是否也有前輩遇過這種事情，我在想是不是間距太大的關係，還是有其它因素 ，謝謝大家 -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc) ◆ From: 1.165.6.19
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基本上塑膠光罩的解析度原本就不比鉻膜光罩來的好，因此會
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出現曝光後尺寸與設計不符的狀況也是合理，再說你的深寬比
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接近1：1，在曝光跟顯影時也不容易做到非常完美，建議如果
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製程容許的話減低光阻厚度試試看，就之前做的經驗看，會誤
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差2~5um都算可容忍的範圍，不過我們是做50um以上的線寬，因
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此對這種誤差就覺得無所謂囉~~
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02/22 00:55, , 7F
您是底徑差2~5um，還是頂徑?謝謝
02/22 00:55, 7F
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