Re: [問題] 請問金屬的殘留應力
※ 引述《divhexa (迎風)》之銘言：
: 小弟最近正在做微機電的模擬，做的是殘留應力這一塊
: (因為只是專題生老師不給碰製程，所以若問了蠢問題請見諒@@")
: 我想問的是：金屬的殘留應力梯度在不同製程下，有可能會反過來嗎？
: 就是說一片金屬薄模在殘留應力的影響下有可能會向上(或向下)彎曲
: 但是有沒有可能同種金屬在不同製程下導致朝不同方向彎曲呢？
: (即某金屬用A製程，結果會向上彎曲；用B製程會向下彎曲)
: 可能表達的不是很好 請見諒
: 對了，老師要我模擬的材料是金(Au)
基本上金屬薄膜的殘留應力在不同的製程下的大小是會不一樣的，
但是其他會影響的因素也是有的，
最簡單的例子就是相同製程，
但是厚度不同會具有不同的應力，可能是張應力也可能是壓應力，
這方面的問題應該有許多的文獻了，
你可以查詢看看。
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09/05 23:05, , 1F
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