[問題] 請問金屬的殘留應力

看板NEMS作者 (迎風)時間16年前 (2008/09/05 22:45), 編輯推噓2(201)
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小弟最近正在做微機電的模擬,做的是殘留應力這一塊 (因為只是專題生老師不給碰製程,所以若問了蠢問題請見諒@@") 我想問的是:金屬的殘留應力梯度在不同製程下,有可能會反過來嗎? 就是說一片金屬薄模在殘留應力的影響下有可能會向上(或向下)彎曲 但是有沒有可能同種金屬在不同製程下導致朝不同方向彎曲呢? (即某金屬用A製程,結果會向上彎曲;用B製程會向下彎曲) 可能表達的不是很好 請見諒 對了,老師要我模擬的材料是金(Au) -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc) ◆ From: 122.122.158.217

09/06 00:53, , 1F
你可以先找一下Senturia的Microsystem Design這本書看看
09/06 00:53, 1F

09/06 00:55, , 2F
裡面有提到薄膜的殘留應力的生成方式和估算方法
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09/06 02:52, , 3F
會的~你得到他了
09/06 02:52, 3F
文章代碼(AID): #18mKNtsl (NEMS)
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