[問題] 請問金屬的殘留應力
小弟最近正在做微機電的模擬,做的是殘留應力這一塊
(因為只是專題生老師不給碰製程,所以若問了蠢問題請見諒@@")
我想問的是:金屬的殘留應力梯度在不同製程下,有可能會反過來嗎?
就是說一片金屬薄模在殘留應力的影響下有可能會向上(或向下)彎曲
但是有沒有可能同種金屬在不同製程下導致朝不同方向彎曲呢?
(即某金屬用A製程,結果會向上彎曲;用B製程會向下彎曲)
可能表達的不是很好 請見諒
對了,老師要我模擬的材料是金(Au)
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