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討論串[問題] 請問金屬的殘留應力
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[問題] 請問金屬的殘留應力
推噓2(2推 0噓 1→)留言3則，0人參與, 最新作者divhexa (迎風)時間16年前 (2008/09/05 22:45), 編輯資訊
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小弟最近正在做微機電的模擬，做的是殘留應力這一塊. (因為只是專題生老師不給碰製程，所以若問了蠢問題請見諒@@"). 我想問的是：金屬的殘留應力梯度在不同製程下，有可能會反過來嗎？. 就是說一片金屬薄模在殘留應力的影響下有可能會向上(或向下)彎曲. 但是有沒有可能同種金屬在不同製程下導致朝不同方向彎
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Re: [問題] 請問金屬的殘留應力
推噓0(0推 0噓 1→)留言1則，0人參與, 最新作者rushwallance ( )時間16年前 (2008/09/05 22:55), 編輯資訊
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基本上金屬薄膜的殘留應力在不同的製程下的大小是會不一樣的，. 但是其他會影響的因素也是有的，. 最簡單的例子就是相同製程，. 但是厚度不同會具有不同的應力，可能是張應力也可能是壓應力，. 這方面的問題應該有許多的文獻了，. 你可以查詢看看。. --. ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc). ◆
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