Re: 想請教關於微機電或是半導體專長的人
※ 引述《POGIPOGI (POGIPOGI)》之銘言：
: ※ 引述《rummel (rummel)》之銘言：
: : 沒有人規定絕緣層一定要用Si3N4
: : 台積電現在也有在用SiO2做絕緣層
: : 重點是你為什麼要用SiO2做研究
: : 另外,氧化層的二氧化矽的結晶與玻璃的結晶是不同的
: 因為微機電多用到懸浮結構 剛好犧牲層多用 SiO2來做
: 當你用 BOE 或是 HF release結果就好笑了
用SiO2做絕緣層有缺點
就是它阻擋水氣的效果比較差
而且常常含有鹼金族離子
會吸引負電荷影響電性特性
所以才會用nitride當絕緣層
--
※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc)
◆ From: 220.140.6.135
討論串 (同標題文章)
本文引述了以下文章的的內容：
完整討論串 (本文為第 2 之 2 篇)：