Re: 想請教關於微機電或是半導體專長的人
※ 引述《rummel (rummel)》之銘言：
: 沒有人規定絕緣層一定要用Si3N4
: 台積電現在也有在用SiO2做絕緣層
: 重點是你為什麼要用SiO2做研究
: 另外,氧化層的二氧化矽的結晶與玻璃的結晶是不同的
: ※ 引述《s75287 (彈珠汽水)》之銘言：
: : 想問一下一般在做絕緣層時候都是鍍上矽的氮化物
: : 一般是Si3N4
: : 但是不會用 Si的氧化物做絕緣層 及SiO2
: : 只用來做蝕刻阻擋層?
: : 請問這是為何??
: : 因為做氧化物比較方邊>_<
: : 我想用氧化物做絕緣層...Q___Q
: : 但是在文獻上面都查不到有人說可以也沒有人這樣做(較方便卻沒人做一定有原因)
: : 二氧化矽是玻璃一般大家也是拿來做度電極用的阿
因為微機電多用到懸浮結構 剛好犧牲層多用 SiO2來做
當你用 BOE 或是 HF release結果就好笑了
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