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討論串想請教關於微機電或是半導體專長的人
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Re: 想請教關於微機電或是半導體專長的人
推噓0(0推 0噓 0→)留言0則，0人參與, 最新作者fluid (那是啥)時間19年前 (2007/03/31 00:24), 編輯資訊
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用SiO2做絕緣層有缺點. 就是它阻擋水氣的效果比較差. 而且常常含有鹼金族離子. 會吸引負電荷影響電性特性. 所以才會用nitride當絕緣層. --. ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc). ◆ From: 220.140.6.135.
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Re: 想請教關於微機電或是半導體專長的人
推噓0(0推 0噓 0→)留言0則，0人參與, 最新作者POGIPOGI (POGIPOGI)時間19年前 (2007/03/30 17:07), 編輯資訊
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因為微機電多用到懸浮結構 剛好犧牲層多用 SiO2來做. 當你用 BOE 或是 HF release結果就好笑了. --. ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc). ◆ From: 140.96.196.16.
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