Re: [問題] 0.18製程中metal各層深度

看板Electronics作者 (水精靈)時間17年前 (2008/06/10 12:52), 編輯推噓0(000)
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※ 引述《arcsin (arcsin)》之銘言: : 小弟最近在作晶片量測 : 由於一些問題造成需要把裡面metal打斷 : 不過在蒐尋過很多資料後 只有找到一些layout的垂直圖 : 並沒有詳細的垂直深度 : 而小弟利用離子束吃的時候無法知道是否有成功切斷 : 所以想請問一下不知是否有人知道.18的垂直的詳細深度 : 假如是想切metal_1的話 大概需要多深? 謝謝! 1.你是在做FIB嗎? 2.你用的哪一家的0.18u的製程?幾p幾m? 如果是1,那很好判斷,FIB的儀器會有一台很像類比示波器那樣地顯示強度, 舉個例,你必須先挖個window,讓要cut斷的metal線露出來,如下圖所示 _________ |▅▅▅▅| |________| 強度顯示儀會在CRT幕上顯示出一條亮亮的線。(因為是金屬的關係,會有亮點反射。) 當你在切斷這條metal時,會由亮變暗,變暗表示金屬被你切斷了。 如果是2,那板上的大家可能無法正確地回覆你,因為每一家的0.18製程不盡相同, 少則3000A or 4000A,多則7000A or 8000A。再者,假如你用的3層metal的製程 那你要挖的深度就很深,而且,你要確保你要挖線的周圍沒有M2 or M3層, 不然就會受到影響。 -- 在臺灣,何謂R&D工程師? 1.Reverse and Decap :IC反相工程,去膠,打開封裝,拍照,複製電路佈局。 2.Resign and Die :沒死的就操到辭職,沒辭職的就操到死。 3.Rework and Debug :計畫永遠跟不上變化,變化永遠跟不上老闆的一句話! 4.Relax and Delay :太過於輕鬆(Relax),那麼就會Random Death (隨時陣亡) 但是外派到大陸的臺彎郎,晚上是R (鴨)陪客戶,白天是D (豬)任人宰割! -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc) ◆ From: 203.66.222.12
文章代碼(AID): #18JWXxxx (Electronics)
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