看板 [ Electronics ]
討論串[問題] 0.18製程中metal各層深度
共 2 篇文章
內容預覽： 開啟 | 關閉 | 只限未讀
首頁
上一頁
1
下一頁
尾頁
#2
Re: [問題] 0.18製程中metal各層深度
推噓0(0推 0噓 0→)留言0則，0人參與, 最新作者jfsu (水精靈)時間17年前 (2008/06/10 12:52), 編輯資訊
0
0
0
內容預覽:
1.你是在做FIB嗎?. 2.你用的哪一家的0.18u的製程?幾p幾m?. 如果是1，那很好判斷，FIB的儀器會有一台很像類比示波器那樣地顯示強度，. 舉個例，你必須先挖個window，讓要cut斷的metal線露出來，如下圖所示. _________. |▅▅▅▅|. |________|. 強度
(還有362個字)
#1
[問題] 0.18製程中metal各層深度
推噓0(0推 0噓 0→)留言0則，0人參與, 最新作者arcsin (arcsin)時間17年前 (2008/06/10 12:24), 編輯資訊
0
0
0
內容預覽:
小弟最近在作晶片量測. 由於一些問題造成需要把裡面metal打斷. 不過在蒐尋過很多資料後 只有找到一些layout的垂直圖. 並沒有詳細的垂直深度. 而小弟利用離子束吃的時候無法知道是否有成功切斷. 所以想請問一下不知是否有人知道.18的垂直的詳細深度. 假如是想切metal_1的話 大概需要多深
首頁
上一頁
1
下一頁
尾頁