[問題] 0.18製程中metal各層深度
小弟最近在作晶片量測
由於一些問題造成需要把裡面metal打斷
不過在蒐尋過很多資料後 只有找到一些layout的垂直圖
並沒有詳細的垂直深度
而小弟利用離子束吃的時候無法知道是否有成功切斷
所以想請問一下不知是否有人知道.18的垂直的詳細深度
假如是想切metal_1的話 大概需要多深? 謝謝！
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